YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第106页

2-5 2 ■ 컨베이어 관련 코드 에 러 명칭과 내 용 Ea000 70 기판반 송에러 상태 컨베이어상에규 정수 량이상의기판이반 입되었습니다 . 원인 1 .규 정수량 을넘는기판 이반입되었다 .  2.I /O 기판또는센서의고장 대책 1 .반 입한기판을제거해주십 시오 .  2.컨베 이어모니 터 ,I /O 모니 터에서센서의반응 상태를확 인해주십시 오 …

2-4

코드 에러 명칭과 내용

Ea02778

BNC노즐탈착에러

상태

노즐스테이션에서노즐의탈착에실패했습니다 .헤드의진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다낮아서 ,노즐의탈착을

확인할수없습니다 .

원인

1.헤드가노즐을픽업할수없었다

2.헤드가노즐을픽업했으나 ,진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨이하

대책

1.노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등을재조정해주십시오 .

2.[ 장비설정 ]-[ 장비데이터 ]-[ 헤드 ]-[ 흡장착레벨 ]-[ 샤프트해방레벨 ] 을재조정해주십시오 .

Ea02779

BNC 노즐수납에러

상태

노즐스테이션으로의노즐수납에실패했습니다 .

헤드의진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다높아서 ,노즐의수납을확인할수없습니다 .

원인

1.헤드가노즐을수납할수없었다

2.헤드가노즐을수납했으나 ,진공 ( 부압 ) 이샤프트해방레벨보다높다

대책

1.노즐스테이션정보의헤드높이 ,각도 ,위치등을재조정해주십시오 .

2.[ 장비설정 ]-[ 장비데이터 ]-[ 헤드 ]-[ 흡장착레벨 ]-[ 샤프트해방레벨 ] 을재조정해주십시오 .

Ea02906

노즐체인지상태에러

상태

현재장착되어있는ANC 노즐을결정할수없습니다 .아래의항목을확인하여주십시오 .

1노즐스테이션의센서상태

원인 현재장착되어있는ANC 노즐을특정할수없습니다 .

대책 노즐스테이션의센서상태를확인해주십시오 .

Ea07563

샤프트청소블로우노즐방치에러

상태 샤프트청소블로우도중에노즐이빠졌을가능성이있습니다 .

원인 헤드로노즐을검출할수없게되었다 .

대책

해당테이블의각헤드로 ,다음을확인해주십시오 .

•

블로우유닛에노즐이방치되어있지않는가

•

헤드로부터노즐이빠져서 ,장비에떨어져있지않는가

•

헤드로부터노즐이빠질려고하지않는가

Ea29528

인터록에러

상태 스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .

원인 헤드가스캔카메라와간섭하는높이까지내려와있어서 ,스캔축 (SC 축 ) 을움직일수없습니다 .

대책 리셋하고작업을재실행해주십시오 .

2-5

■ 컨베이어 관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea00070

기판반송에러

상태 컨베이어상에규정수량이상의기판이반입되었습니다 .

원인

1.규정수량을넘는기판이반입되었다 .

2.I/O 기판또는센서의고장

대책

1.반입한기판을제거해주십시오 .

2.컨베이어모니터 ,I/O 모니터에서센서의반응상태를확인해주십시오 .

Ea00851

인터록에러

상태 기판반송기의하강단센서가OFF 되어있습니다 .원인을제거해주십시오 .

원인 기판반송기가하강된상태로되어있거나 ,또는센서에러일가능성이있습니다 .

대책 기판반송기의상태 ( 상하 ) 를확인해주십시오 .

Ea02204

기판반송에러[ 반입처리시간초과 ]

상태 반입해야할기판을견실했습니다 .

원인 상류측컨베이어와의연결부분 ,또는본체컨베이어입구부근에기판이있을가능성이있습니다 .

대책 정상위치에기판을세팅하고복구하여주십시오 .

Ea07319

입구위치의기판제거

상태 컨베이어의입구센서가반응하고있습니다 .

원인 입구위치에서불명한기판을검출했습니다 .

대책 기판을제거하고 ,운전을재개해주십시오 .

Ea07876

명령실행불능

상태 서보푸쉬업이충분히하강되어있지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .

원인 서보푸쉬업이충분히하강되어있지않아서 ,이명령을실행할수없습니다 .

대책 컨베이어유니트조작과리세트로 ,서보푸쉬업을하강시킨후 ,다시명령을실행하여주십시오 .

Ea29701

푸쉬업플레이트핀검지인터록

상태 푸쉬업핀을검지했습니다 .

원인 푸쉬업플레이트의AT 축동작범위내에푸쉬업핀을검지했습니다 .

대책 푸쉬업플레이트상의불필요한푸쉬업핀등을제거해주십시오 .

Ea29717

Ea29718

Ea29719

Ea29720

푸쉬업핀인터록에러

상태

스테이지

✽

의컨베이어레일과푸쉬업핀이간섭했습니다 .

(

✽

에는해당하는스테이지번호가표시됩니다 .)

원인 푸쉬업플레이트상의푸쉬업핀의위치가부적절해서 ,푸쉬업축을상승시킬수가없습니다 .

대책 푸쉬업핀을제거하고 ,컨베이어레일을확인해주십시오 .

2-6

■ 데이터 관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea00036

흡착경계값에러

상태 흡착압력이기준치미달입니다 .인식후 ,부품이낙하했을가능성이있습니다 .

원인 흡착진공압의설정불량 ,또는부품이정확하게흡착되어있지않습니다 .부품의흡착위치좌표및흡착정도가나쁩니다 .

대책 부품의흡착상태를안정시켜 ,보조조정에서흡착진공압의재조정을해주십시오 .

Ea00267

피듀셜FINE 수속에러

상태

Fine 타입인식에있어서 ,보정위치가Fine 수속위치내로집결되지않았습니다 .Fine 수속위치는 ,장비데이터에정의

되어있습니다 .

원인 수속조건이너무엄밀합니다 .

대책 장비데이터에서수속조건을완화시키거나 ,일반피듀셜데이터를사용해주십시오 .

Ea00502

데이터읽기에러

상태 데이터읽기에실패했습니다 .

원인 파일에이상이있을가능성이있습니다 .

대책 해당데이터는읽어들일수없습니다 .백업해둔경우에는백업에서재복사해주십시오 .

Ea02702

노즐스테이션MACS 에러

상태

노즐스테이션MACS 의동작중에실패했습니다 .노즐스테이션MACS 에관한장비설정과 ,참조하고있는마크

데이터베이스가다르지않습니까 ?

원인 노즐체인지를실행하려고했을때 ,노즐스테이션MACS 의인식을실행했으나 ,마크의인식에실패했습니다 .

대책 스테이션MACS 의위치를정확하게설정해주십시오 .마크데이터베이스의번호를정확하게설정해주십시오 .

Ea30100

피더전송미완료에러

상태 헤드하강시에 ,피더를정확히전송하지못했습니다 .

원인

전송타이머에설정된시간이실제로전송가능한시간보다너무빠릅니다 .

돌발적인요인에의해 ,구동에시간이걸렸습니다 .

대책

전송동작의방해가되는요인이없는지확인해주십시오 .

빈번히발생하면 ,전송타이머를수정할필요가있습니다 .

■ 부품 공급장치 관련

코드 에러 명칭과 내용

Ea09657

cATS언클램프불가

상태 대차클램프스위치가OFF 로되어있습니다 .

원인 cATS 는대차클램프스위치로언클램프할수없습니다 .

대책 클램프스위치를원상태로되돌려주십시오 .

Ea29259

대차앞쪽상부가이드레일커버오픈

상태 대차의상부가이드레일커버가열려있어서 ,비상정지상태로되어있습니다 .

원인 대차의상부가이드레일커버가올바르게닫혀있지않다 .

대책 대차상부의가이드레일커버를닫아주십시오 .

Ea30106

피더대차접속확인에러

상태 피더대차를정확하게검출할수없습니다 .

원인 대차의접속상태불량에의해 ,피더대차의통신이정상적으로실행되지않습니다 .

대책

대차의접속상태를확인해주십시오 .

피더대차의통신상태가정상인지확인해주십시오 .

대차의상태는 ,대차에장착되어있는LED 의상태를정상적인대차와비교하면알수있습니다 .