YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第209页

3-25 3 █ 「노즐 선단 오염체크 」 설정에 대 해 서 다음과 같이 「노 즐 선 단 오염체 크 」 의 설정 방 법에 대해 서 설명 합니다 . 1 「 셋 업 」화 면 의 [ 장 비설정 ] 버튼 을 누 릅 니다 . 「VmSp ec」 화 면 이 표시 됩 니 다 . 2 「 스케 줄 스 펙」 을 선 택합니다 . 「VmSp ec」 화 면 좌측의 「 스케 줄 스펙 」 을 선 택 해 주십시 오 . n …

100%1 / 223
3-24
3
3
노즐선단 오염체크화면을 니다 .
셋업」면의 [ 즐선염체 ] 튼을 르면 , 화면표시됩니다 .
4
노즐선단 염체크를 실행합니다 .
화면의 용을 , 튼을 주십시 .
[ ] : 노즐환해서 , 대상 노즐 부의 노즐선
[ 아니 ] : 현재 장착되있는 노즐에 한해서 , 즐선한다
[ ] : 취소 , 이전 화면으로 되돌아 간다
n
요점
「노단 오」는, 부품을 장착하지 않은 상의 노즐 선단을 카로 확인 , 노의 오염 정를 판단하는 기.
즐 선의 중심 부근에 솔의 부착으로 인한 빛의 반사를 인하는 기으로 , 대상 노즐은 301A, 302A, 311A, 312A 등
단이 작은 노즐이 대이 됩 .
노즐선단 오염체크
「셋업」화면 - 「노즐선단 오염체크」 화면
[노즐선단 오염체크] 버튼
「노즐선단 오염체크」
화면
28314-KMK-00
n
요점
「장」에「노단 오」의 설이 되어 있을 경우에 실행 가능합니.
• 노즐에는 더움이 서히 부착므로 , 더움이 경할 경우에 체 , OK 로 되가 NG 가 될 때가 있.
• 노즐은 정으로 세하실 것을 권. ( 의 메스 매「제 3 장 1.2 노의 청를 참해 주십 .)
3-25
3
「노즐선단 오염체크설정에
다음과 같이「노오염체설정 방법에 대해설명합니다 .
1
」화 [ 비설정 ] 버튼 니다 .
「VmSpec」표시 .
2
스케펙」택합니다 .
「VmSpec」좌측의스케스펙주십시 .
n
요점
「노단 오」설 , [ ] 의 항목이 되므로 , 관자 레의 권한이 필합니.
「VmSpec」 - 「스케줄 스펙」
[장비설정] 버튼 「VmSpec」 화면
「스케줄 스펙」 을 선택
28 3 15-K M K-0 0
3-26
3
3
노즐선단 염체크설정을 합니다 .
1. 「체항목」의 풀다운 뉴에서「노오염」를 합니 .
2. ( 사양 :301A/302A, 인접 사양 :311A/312A/313A)
「데이터「1000합니 .
3. 화면[ ] 튼을 눌러서 장합니 .
4. 화면우측 상부[ (X)] 튼을 눌러서「VmSpec」닫습니 .
참고
스 번「1000은 노단 오크의 전용 인식 데 .
노즐선단 오염체크의 설정
「VmSpec」 화면
1. 「노즐선단 오염체크」 를 선택한다3. 저장 버튼을 누른다
2. 해당 노즐의 「실행」 란에 체크 하고 「데이터베이스」 란에 「1000」 을 입력한다
노즐타입
타입-301
타입-302
실행 데이터베이스
1000
1000
노즐 그룹 30X(표준)의 경우 노즐 그룹 31X(협인접 타입)의 경우
노즐타입
타입-311
타입-312
타입-313
실행 데이터베이스
1000
1000
1000
4. 닫기 버튼을 누른다
28 3 16-K M K-00
4
기판 데이터를 다시 읽습니다 .
이터다시 , 즐선오염반영 .