YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第91页

1-58 1 █ FM 헤드유닛 5 1 5 1 5 1 헤드부의 축 구성 (FM헤드 유닛) 장비의 정면에서 본 예 ZA1축 RA1축 ZA2축 RA2축 ZA3축 RA3축 ZA4축 RA4축 ZA5축 RA5축 ZB5축 RB5축 ZB4축 RB4축 ZB3축 RB3축 ZB2축 RB2축 ZB1축 RB1축 ZA5축 RA5축 ZA4축 RA4축 ZA3축 RA3축 ZA2축 RA2축 ZA1축 RA1축 A테이블 B…

1-57

7. 축 구성

축 구성 및 동작방향에 대해서 설명합니다 .

7.1 헤드유닛의 축 구성

█ HM 헤드유닛

헤드부의 축 구성 ( HM헤드 유닛)

장비의 정면에서 본 예

플러스 방향

마이너스 방향

RA1축

RB1축

RA2축

RB2축

SCB축

■ 2빔

SCA축

<A테이블　헤드유닛>

<B테이블　헤드유닛>

ZB1ZB10 ZB6 ZB5

RA1축

RA2축

SCA축

■ 1빔

<헤드유닛>

ZA1ZA10 ZA6 ZA5

ZA10ZA1 ZA5 ZA6

A테이블

B테이블

장비 정면

27132-KMK-00

축명칭 기능과역할

HM 헤드

1빔

ZA1 축→ Z A10 축

부품흡착

・

탑재헤드를상하로이동합니다 .

아래방향이플러스입니다 .

RA1 축→ RA2 축

RA1,RA2 의2 개의모터로노즐샤프트를5 개씩회전시킵니다.

시계반대방향이플러스입니다 .

SCA 축

스캔카메라를이동합니다 .

1 번헤드→10 번헤드쪽이플러스입니다 .

HM 헤드

2빔

ZA1 축→ Z A10 축 ,ZB1 축→ ZB10 축

부품흡착

・

탑재헤드를상하로이동합니다 .

아래방향이플러스입니다 .

RA1축→RA2축,RB1축→RB2축

RA(B)1,RA(B)2 의2 개의모터로노즐샤프트를5 개씩회전시

킵니다 .시계반대방향이플러스입니다 .

SCA,SCB 축

스캔카메라를이동합니다 .

1 번헤드→10 번헤드쪽이플러스입니다 .

요점

2 빔 사양의 장비는 , 앞쪽의 헤드유닛을「A 테이블」, 뒤쪽의 헤드유닛을 「B 테이블」이라고 합니다.

1-58

█ FM 헤드유닛

5 1

헤드부의 축 구성 (FM헤드 유닛)

장비의 정면에서 본 예

ZA1축

RA1축

ZA2축

RA2축

ZA3축

RA3축

ZA4축

RA4축

ZA5축

RA5축

ZB5축

RB5축

ZB4축

RB4축

ZB3축

RB3축

ZB2축

RB2축

ZB1축

RB1축

ZA5축

RA5축

ZA4축

RA4축

ZA3축

RA3축

ZA2축

RA2축

ZA1축

RA1축

A테이블

B테이블

플러스 방향

마이너스 방향

■ 2빔

<A테이블　헤드유닛>

<B테이블　헤드유닛>

■ 1빔

<헤드유닛>

장비 정면

57133-KM K- 00

축명칭 기능과역할

FM 헤드

1빔

ZA1 축→ ZA5 축

부품흡착

・

탑재헤드를상하로이동합니다 .

아래방향이플러스입니다 .

RA1 축→ RA5 축

각헤드개별로노즐샤프트를회전시킵니다 .

시계반대방향이플러스입니다 .

FM 헤드

2빔

ZA1 축→ ZA5 축 ,ZB1 축→ ZB5 축

부품흡착

・

탑재헤드를상하로이동합니다 .

아래방향이플러스입니다 .

RA1 축→ RA5 축 ,RB1 축→ RB5 축

각헤드개별로노즐샤프트를회전시킵니다 .

시계반대방향이플러스입니다 .

요점

2 빔 사양의 장비는 , 앞쪽의 헤드유닛을「A 테이블」, 뒤쪽의 헤드유닛을 「B 테이블」이라고 합니다.

1-59

7.2 컨베이어의 XY 축 구성

█ YSM20R듀얼스테이지

플러스 방향

마이너스 방향

YB축

YA축

YA축 (1빔)

XA축

XA축 (1빔)

XB축

U1축

W1축

W4축

W2축

U2축

W3축

축 구성

듀얼 스테이지 (우→좌 흐름의 예)

■ 주축부

■ 컨베이어

PU1축

PU2축

스테이지 2

스테이지 1

입구 컨베이어

출구 컨베이어

27134-KMK-00

█ 주축

축명칭 기능과역할

1빔

XA 축

컨베이어의기판반송방향과평행하게헤드유닛을이동시킵니다 .

정면에서봤을때 ,우측이플러스방향입니다 .

YA 축

컨베이어의기판반송방향과직각방향으로헤드유닛을이동시킵니다 .

안쪽이플러스방향입니다 .

2빔

XA,XB 축

컨베이어의기판반송방향과평행하게헤드유닛을이동시킵니다 .

정면에서봤을때 ,우측이플러스방향입니다 .

YA,YB 축

컨베이어의기판반송방향과직각방향으로헤드유닛을이동시킵니다 .

안쪽이플러스방향입니다 .

█ 컨베이어

축명칭 기능과역할

U1,U2 축

컨베이어 (W2,W3) 를Y 축방향으로이동시킵니다 .안쪽이플러스방향입니

다 .헤드유닛과실장위치를가깝게함으로서택타임을향상시킬수있습니다 .

W1,W2,W3,W4 축 컨베이어폭을변경합니다 .컨베이어가열리는쪽이플러스방향입니다 .

PU1,PU2 축 푸쉬업플레이트를상하로동작시킵니다 .윗방향이플러스입니다 .