YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第139页
2-38 2 3 .1 1 스 케줄 태 스 크 이 화 면 은 , 「진 공 압 체 크 」, 「노 즐 선 단 오 염 체 크 」 등 의 스 케 줄 태 스크 를 실 행 한 결 과를 표 시 합 니 다 . 표 시 내 용은 각 스 케 줄 태 스크 완 료 후 에 갱 신 되 며 , 이 력 에 헤 드 별 에 러 정 보 와 , 실 행 한 결 과 정 보가 기 록됩 니 다 . 모니터 : 스케줄 태스크 실행결과 일람 …
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•
중심 X,Y(mm)
노즐 MACS 의 중심 X, Y 의 보정량을 표시합니다 .
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옵셋 X,Y(mm)
노즐 MACS 의 옵셋 X, Y 의 보정량을 표시합니다 .
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[ 개별체크 ] 버튼
흡착율에 이상이 생긴 부품 (「적색」으로 표시된 행 ) 중에서 임의의 부품 ( 행 ) 을 선택하여 , 이 버튼을 누르면 , 그 부품
은 「체크중 상태」가 됩니다 .
•
[ 전체체크 ] 버튼
이 버튼을 누르면 , 흡착율에 이상이 생긴 부품 (「적색」으로 표시된 행 ) 모두가 「체크중 상태」로 됩니다 .
■ 「 체크중 상태」란
체크중 상태란 , 흡착율 이상이 발생한 부품에 대해 , [ 개별 체크 ] 버튼 또는 [ 전체 체크 ] 버튼을 클릭함으로서 , 그 시점
의 흡착율을 기억하여 , 이후의 흡착율이 개선 혹은 악화했을 경우에 색깔변화로 알려주는 것입니다 .
이로 인해 , 흡착율에 이상이 생긴 부품에 대하여 , 그 시점의 흡착율을 기억 ( 체크중 상태 ), 그 후에 , 이상 원인을 제거하
고 동작했을 때 , 개선된 경우는 「분홍색→황색」으로 변화됩니다 . 또한 , 흡착율이 더욱 악화된 경우 , 「분홍색→적색」
으로 변화하여 개선이 적절치 않음을 나타냅니다 . 흡착율에 동반한 색의 상태추이에 대하여 , 주의 ( 황색 )=99.00%,
경고 ( 적색 )=95.00% 로 설정되어 있는 경우를 예로 들어 , 아래 그림에 나타냅니다 .
흡착율 변화에 동반하는 색의 상태추이
100
99
98
97
96
95
94
흡착율 %
시간
황색으로 변화
시작(백색)
황색으로 변화(개선)
적색으로 변화
적색으로 변화(악화)
[체크] 버튼 ON
분홍색으로 변화
체크중 상태 시작
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3.11 스케줄 태스크
이 화면은 ,「진공압 체크」,「노즐선단 오염체크」 등의 스케줄 태스크를 실행한 결과를 표시합니다.
표시 내용은 각 스케줄 태스크 완료후에 갱신되며, 이력에 헤드별 에러 정보와, 실행한 결과 정보가 기록됩니다.
모니터 : 스케줄 태스크
실행결과 일람
페이지 수 표시
수동조작 버튼
화살표
28224-KMK-00
•
체크내용
풀다운 리스트에서「진공압 체크」,「노즐선단 오염체크」,「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」,「노즐 형상체크」,「노즐편심
이상체크」등을 선택해서 전환할 수 있습니다 .
•
스케줄최종실행시간
스케줄 태스크가 실행된 최종 일시를 표시합니다 .
•
실행결과일람
각 스케줄 태스크의 실행 결과가 표시됩니다 .
•
OK : 스케줄 태스크 정상종료
•
NG : 스케줄 태스크 이상종료
•
[ ] : 스케줄 태스크 미실시
참고
일람표에는 , A~D 테이블의 표시가 있습니다만 , 본 장비에서는 A 테이블과 B 테이블의 수치만 표시됩니다 .
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노즐타입
스캐줄 태스크를 실행한 노즐의 종류를 표시합니다 .
•
화살표
노즐타입의 표시를 전환합니다 .
•
페이지표시
현재 페이지와 최대 페이지 수를 표시합니다 . 1 페이지밖에 없을 경우는 , 표시되지 않습니다 .
•
수동조작버튼
수동으로「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」,「노즐선단 오염체크」,「진공압 체크」,「노즐탄성 이상체크」,「노즐 형상체크」,
「노즐편심 이상체크」의 스케줄 태스크를 실행할 수가 있습니다 .
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3.12 노즐 헬스점검
이 화면은 ,「장비설정」→「장비정보」→「공장설정」의「노즐 헬스점검」이「유효」로 되어 있을 경우에 표시됩니다.
노즐 헬스점검 기능은 , 전술의「3.11 스케줄 태스크」에서 개별로 실시한 노즐의「진공압 체크」,「노즐선단 오염
체크」,「청소 블로우 ( 샤프트 블로우 )」등의 상태 체크를 한꺼번에 실시해서, 그 검진 결과를 확인할 수가 있습
니다 .
노즐 헬스점검 항목은, 1. 진공압 체크→ 2. 선단오염 체크→ 3. 탄성 이상체크→ 4. 형상체크→ 5. 편심이상
체크의 순으로 실행되며 , 순서대로 체크를 실행해서「NG」가 발생한 노즐은 남아있는 그 이후의 다른 체크는
실행하지 않습니다.
모니터 : 노즐 헬스점검
2822 5 -K MK- 00
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[ 헬스점검 ] 버튼
이 버튼을 누르면, [ 노즐 헬스점검 ] 화면이 표시됩니다. 대상 테이블 (본 장비에서는, A 테이블 ) 과 대상 범위를 설정하고 ,
[OK] 버튼을 누르면 노즐 헬스점검이 실행됩니다 .
또한 , 대상 범위는「ALL( 모든 노즐을 대상 )」,「기판데이터 사용 ( 기판 데이터에서 사용설정되어 있는 노즐 )」,
「NG( 한 번 헬스 점검을 실행해서 NG 된 노즐 )」중에서 선택합니다 .
•
체크결과표시범위
노즐 헬스점검의 결과표시 범위를 지정합니다 .
「ALL」,「기판데이터 사용」,「NG」중에서 선택해서 표시시킵니다 .
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결과
노즐 헬스점검을 실행한 결과를 표시합니다 . 결과가「NG」일 경우는 , 해당 행이 빨간색으로 표시됩니다 .
또한 , 체크 항목의 1~5 중에서 한 항목이라도 NG 일 경우 ,「결과」는「NG」가 됩니다 .
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테이블
대상 테이블을 표시합니다 . 본 장비에서는 , A 테이블이 표시됩니다 .
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헤드
사용하고 있는 헤드 번호를 표시합니다 .
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노즐타입
노즐의 종류를 표시합니다 .
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노즐 St. 번호
그 노즐의 노즐 스테이션으로의 수납 위치를 표시합니다 .
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진공압체크 ,선단오염체크 ,탄성이상체크 ,형상체크 ,편심이상체크
각각의 스케줄 태스크의 결과를 표시합니다 .