YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第202页

3-18 3 1. 6 . 3 기판의 고 정상태 확인 1 기판을 반입합니다 . 전술의 「 1. 6 . 2 기판 누름 플 레이트 의 위치 조 정」 의 Ste p 1 과 같은식 으로 기판을 반입합니 다 . e 2 기판의 고정 상태 를 확 인합니다 . 1 . 비 상정지 버 튼을 누 르고 , 장 비 의 안전 커버 를 오 픈 합니 다 . 대 차 사양의 경 우는 대차를 탈착합니 다 . 2. 기 판 의 상…

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하류측 스테이지의 기판 누름 플레이트를 조정합니다 .(YSM20R 듀얼 스테이지 사양 )

1. 대차 사양의 경우는 , 대차를 장착합니다 .

2. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합니다 .

3. 「장치」화면의 [ 기판반송 ] 버튼을 누릅니다 .

4. 「기판반송」화면이 표시되므로 ,「모든 위치」에 체크되어 있는지 확인하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .

5. 「기판의 반입고정」확인 화면의 [OK] 버튼을 누르면 , 상류측 스테이지에서 하류측 스테이지에 기판

을 반송해서 하류측의 실장위치에 기판이 고정됩니다 .

6. 전술의 Step2-3 과 같은 식으로 하류측 스테이지의 기판누름 플레이트의 위치를 조정합니다 .

하류측 스테이지의 기판고정

[장치] - 「컨베이어」 화면

[기판반송] 버튼

「모든 위치」 에 체크

◼ 듀얼 스테이지 사양

28328-KMK-00

기판을 반출합니다 .

1. 대차 사양의 경우는 , 대차를 세팅합니다 .

2. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지 버튼을 해제합니다 .

3. YSM20R 싱글레인 /YSM20WR 듀얼레인 사양은 「장치」-[ 기판반출 ] 버튼을 누르고 , YSM20R 듀

얼 스테이지 사양은 「장치」-[ 기판반송 ] 버튼을 누릅니다 .

참고

YSM20R 듀얼 스테이지 사양은「기판반송」화면이 표시되므로 ,「모든 위치」에 체크되어 있는지 확인하고 [OK] 버튼을 누릅니다.

4. 「기판반입 고정」화면의 [OK] 버튼을 누르면 , 실장위치에서 출구 컨베이어로 기판을 반출합니다 .

참고

YSM20R 듀얼 스테이지 사양의 경우는 , 하류측 스테이지에서 출구 컨베이어로 기판을 반출합니다 .

5. 기판을 손으로 꺼냅니다 .

참고

이번 작업에서는 기판반송을「모든 위치」로 해서 반송했습니다만 ,「기판반송」확인 화면에서 「입구→상류측 스테이지」「상류측 스

테이지→하류측 스테이지」「하류측 스테이지→출구」에 체크하면 체크한 구간만 기판반송을 할 수가 있습니다.

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1.6.3 기판의 고정상태 확인

기판을 반입합니다 .

전술의「1.6.2 기판 누름 플레이트의 위치 조정」의 Step1 과 같은식으로 기판을 반입합니다 .

기판의 고정상태를 확인합니다 .

1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를 오픈합니다 . 대차 사양의 경우는 대차를 탈착합니다 .

2. 기판의 상면을 몇군데 손가락으로 두드리거나 , 기판을 옆쪽에서 봐서 푸쉬업 핀이 균일하게 기판을

지탱하고 있는지 확인합니다 .

3. 기판을 옆쪽에서 봤을때 , 위아래로 크게 휘어져 있지 않은지 확인합니다 .

4. 컨베이어 프레임보다 기판이 들떠있거나 , 밑으로 쳐져 있지 않은지 확인합니다 .

( 특히 좌우의 기판단 부근 )

5. 상기 2~4 의 확인에서 고정상태가 나쁠 경우에는 , 푸쉬업 핀과 기판 누름 플레이트의 위치를 변경

하거나 , 추가해서 고정상태를 다시 확인해 주십시오 .

기판 고정상태의 확인

기판 상면을 손가락으로 두드린다

<기판 고정상태 확인 포인트>

・「기판두께」 의 설정값이 부적절

・ 푸쉬업 핀의 위치가 기판의 상태와 맞지 않다

・「기판두께」 의 설정이 부적절

・기판 누름 플레이트의 위치가 부적절

기판이 들떠있는 상태

27305-KMK-00

참고

본 장비에서의 실장 기판의 휘어짐 허용 규격은 , 상향 휘어짐이 0.5mm 이하이며 , 하향 휘어짐은 1.0mm 이하입니다.

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하류측 스테이지의 기판 고정상태를 확인합니다 .(YSM20R 듀얼 스테이지 사양 )