YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第53页

1-20 1 3. 4. 3 노즐 샤 프 트 블로우의 자 동 실 행방법 노 즐 샤 프트 블 로 우는 임 의 의 타 이 밍 에 자동 적 으로 실 행 시 킬 수 가 있 습 니 다 . 설 정 방 법 은 다음 과 같 습 니 다 . 1 [ 장비설정 ] 버튼 을 누 릅니다 . 「VmSp ec」 화 면 이 표시 됩 니 다 . 2 「 스케 줄 스 펙」 을 선 택합니다 . 「VmSp ec」 화 면 좌측의 「 …

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「노즐샤프트 블로우 실행 최종확인」화면이 표시됩니다 .

내용을 확인하고 해당하는 버튼을 눌러 주십시오 .

[ 예 ] : 대상노즐을 노즐샤프트 청소블로우 합니다 .

[ 아니오 ] :「노즐 설정」화면으로 되돌아 갑니다 .

[ 취소 ] : 실행하지 않고 화면이 닫히며 , [ 장치 ]-「헤드」화면으로 되돌아 갑니다 .

「노즐 샤프트 블로우 실행 최종확인」화면

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█ 안전체크기능

노즐샤프트 블로우 기능에는 , 다음과 같은 안전체크 기능이 부가되어 있습니다 .

•

 노즐샤프트블로우중단경고

노즐샤프트블로우실행중에비상정지와인터록등으로운전을정지시키면 ,헤드가곧바로상승합니다 .그럴경우 ,블로우가계속

되고있는상태로헤드가상승하여노즐이빠질가능성이있습니다 .

따라서 ,노즐샤프트블로우를실행중에운전정지를한경우는 「노즐샤프트블로우노즐확인」 화면이표시되므로 ,노즐의상태를

확인해주십시오 .

•

 노즐방치검지체크

노즐샤프트블로우기능은 ,청소시에고압블로우가발생하므로 ,실행도중에운전정지를하면헤드에서노즐이빠져버릴가능성

이있습니다 .헤드에서노즐이빠져서 ,블로우스테이션상에방치된채로자동운전이실행되면다른헤드등과간섭할우려가있습

니다 .

본장비에는 ,블로우스테이션의노즐센서로노즐의방치여부를체크합니다 .체크하는타이밍은 ,샤프트블로우실행후에Z 축

이상승완료된시점에서실시합니다 .

노즐이방치되었다고판단된경우에는 ,에러를표시하고모든축이정지됩니다 .

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3.4.3 노즐 샤프트 블로우의 자동 실행방법

노즐 샤프트 블로우는 임의의 타이밍에 자동적으로 실행시킬 수가 있습니다.

설정방법은 다음과 같습니다.

[ 장비설정 ] 버튼을 누릅니다 .

「VmSpec」화면이 표시됩니다 .

「스케줄 스펙」을 선택합니다 .

「VmSpec」화면 좌측의「스케줄 스펙」을 선택합니다 .

요점

스케줄 스펙은 , 장비설정내의 항목이므로 , 관리자 레벨의 권한이 필요합니다.

「VmSpec」 - 「스케줄 스펙」 열기

[장비설정] 버튼 「VmSpec」화면

「스케줄 스펙」 을 선택

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노즐 샤프트 블로우의 설정을 합니다 .

1. 체크 항목 풀다운에서 ,「노즐 샤프트 블로우」를 선택합니다 .

2. 「체크실행」란에 체크합니다 .

3. 「노즐타입」을「모든 노즐」또는「사용 노즐만」중에서 선택합니다 .

4. 「실행조건」과「주기조건」을 각각 풀다운에서 설정합니다 .

5. 화면 좌측 상부의 [ 저장 ] 버튼을 눌러서 설정을 저장합니다 .

6. 화면 우측 상부의 [ 닫기 (X)] 버튼을 눌러서「VmSpec」화면을 닫습니다 .

자동 노즐 샤프트 블로우의 설정

4. 실행조건과 주기조건을 설정

1. 체크항목 「노즐 샤프트 블로우」 를 선택 2. 「체크실행」 란에 체크

3. 노즐 스테이션이 있을 경우 「모든 노즐」 또는 「사용 노즐만」 을 선택한다

5. 저장 버튼을 누른다

6. [닫기] 버튼을 누른다

「VmSpec」 화면

「복수 시각 지정」

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█ 실행조건

실행조건 내용

없음 자동노즐샤프트블로우를실행하지않습니다 .

전원ON 장비의전원투입후에노즐샤프트블로우를실행합니다 .

전원 OFF 장비의전원을끄기전에노즐샤프트블로우를실행합니다 .

리세트 리세트동작시에노즐샤프트블로우를실행합니다 .

운전시작 자동운전시작시에노즐샤프트블로우를실행합니다 .

로트시작 + 자동운전중 기판데이터를읽은후 ,자동운전시작시 + 설정된주기조건으로노즐샤프트블로우를실행합니다 .

자동운전중에만 설정된주기조건으로노즐샤프트블로우를실행합니다 .

█ 주기조건

주기조건 내용

없음 주기조건설정을하지않습니다 .

분단위 설정한시간간격 ( 분 ) 으로노즐샤프트블로우를실행합니다 .

일단위 자동운전중에설정한시간에샤프트블로우를실행합니다 .

주단위 자동운전중에설정한요일과시간에사프트블로우를실행합니다 .

요점

「복수 시각 지정」란에 체크하면 , 복수의 시각을 설정할 수도 있습니다 .

기판 데이터를 다시 읽습니다 .

기판 데이터를 다시 읽으면 , 자동 샤프트 블로우 설정이 기판 데이터에 반영됩니다 .