YSM20R_YSM20WR_Ope_K.pdf - 第119页

2-18 2 11 .  [ 기판클램프 ] 버튼 기 판 클램프 보드를 상승 / 하 강시 킵니 다 . 기 판의 틀을 아 래 방향 ( 이면 ) 에서 끼 워서 고 정합니 다 . 12 .  [ 입구스 톱퍼 ] 버튼 입 구 스톱 퍼를 상승 / 하 강시 킵니 다 . 반입 된 기판을 대기 위치 에서 멈출 때 사용합니 다 . 1 3. [ 푸 쉬업 ] 버튼 이 버 튼을 눌러서 표시되 는 「 컨 베 이…

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컨베이어수동조작2
[장치] - 「컨베이어」 화면
컨베이어 수동 버튼:YSM20R 듀얼 스테이지 화면
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6. [ 기판반송 ] 버튼 ( 듀얼스테이지 )
[ 기판반송 ] 튼을 르면 , 같은 화면표시됩니다 .
「기판반송」 화면
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모든위치
,「입구→상류측 스테이지」,상류측 스테이지→하류측 스테이지」,「하류측 스테이지→출구
실행합니다 .
지정위치
박스에 지정구간만 송을 실행합니다 . ,치」같은 동작을 실행합니다 .
7. [ ],[ ] 버튼
좌측 또는 우측으로 컨베이어 모터고속으로 돌립 .
8. [ 저속 ],[ 속우 ] 버튼
좌측 또는 우측으로 컨베이어 모터저속으로 돌립니 .
9. [ 구스톱퍼 ] 버튼
출구 스톱퍼상승 / 하강시 . 반출할 출구에서 합니 .
10.[ 메인스톱퍼 ] 버튼
스톱상승 / 시킵 . 어내반입된 판을 장위치에서 멈출 사용합니 .
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11.[ 기판클램프 ] 버튼
클램프 보드를 상승 / 강시킵니 . 판의 틀을 방향 ( 이면 ) 에서 워서 정합니 .
12.[ 입구스톱퍼 ] 버튼
스톱퍼를 상승 / 강시킵니 . 반입기판을 대기위치에서 멈출 사용합니 .
13.[ 쉬업 ] 버튼
튼을 눌러서 표시되이어 푸업」「두께수치입력[OK] 버튼 , 푸쉬업 플레이
상승해서 판을 방향 ( 뒷면 ) 에서 합니다 .
14.[ 컨베이어센서튜닝 ] 버튼
컨베이어 센서합니 . 상시요가 없습다만 , 이어 센서의 오동작 등에
정상적판이 검지않을 등에 사용합니 .
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주의
컨베이어센서튜닝을실행할경우에는 ,반드시컨베이어상에기판이없는지확인한후에실행해주십시오 .
상세한내용 ,별책메인터넌스매뉴얼의제 3 2.3.1컨베이어센서의상태
작확인」 을참조해주십시 .
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조작
「장치」-「헤드」화면
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버튼명 기능
1 진공 각헤드의진공 ON/OFF 를실행합니다 .
2 블로 각헤드의블로우ON/OFF 를실행합니다 .
3 노즐 STN셔터 노즐스테이션의셔터를개폐합니다 .
4 즐변경
노즐변경」 대화이표시되면 ,헤드및노즐
타입을지정해서노즐체인지를실행합니다 .
5 현재노즐일람
현재 ,헤드에장착되어있는노즐타입의일람
을표시합니다 .
6 축이 축을이동시키기위해사용합니다 . 「컨베이어 면의축이동과같습니다 .
7 소블로우 노즐샤프트블로우실행확인화면이표시됩니다 .
8 테이블선택 테이블의표시를전환합니다 .
9 노즐탄성이상체크
노즐의탄성동작의이상을체크합니다 .
「전부실행 또는 선택해서실행 버튼을눌러
서노즐의탄성체크를실행합니다 .