Aimex3C系统手册.pdf - 第46页
2. 各部分的名称和功能 SYS-AIMEX3C-007S0 30 AIMEX III/AIMEX IIIc 系统手册 2.2.2 双搬运轨道 1 基准轨道 （通道 1） 2 从属轨道 （通道 1） 3 基准轨道 （通道 2） 4 从属轨道 （通道 2） 5支 撑 板 6支 撑 销 30SYS-1 1 16 4 2 5 5 1 3 6 6 oNnLLVIq oNnLLVIq Downloaded at 2017/10/30 17:10:…
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AIMEX III/AIMEX IIIc 系统手册
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2.2 搬运轨道
搬运轨道各部分的名称如下所示。
2.2.1 单搬运轨道
1 基准轨道
2 从属轨道
3支撑板
4支撑销
30SYS-0875
2
3
4
1
oNnLLVIq
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2. 各部分的名称和功能 SYS-AIMEX3C-007S0
30 AIMEX III/AIMEX IIIc 系统手册
2.2.2 双搬运轨道
1 基准轨道 （通道 1）
2 从属轨道 （通道 1）
3 基准轨道 （通道 2）
4 从属轨道 （通道 2）
5支撑板
6支撑销
30SYS-1116
4
2
5
5
1
3
6
6
oNnLLVIq
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2.3 操作面板
说明操作面板上的各按钮及操作画面。
2.3.1 操作按钮
1 [ENABLE/LOCK] 开关 4 [READY ON] 按钮
2 [POWER] 按钮 5 [CYCLE STOP] 按钮
3 [START] 按钮 6 [EMERGENCY] 按钮
30SYS-0876
1
2345
6
oNnLLVIq
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