KE-3010A_20VA_20VRA使用说明书.pdf - 第391页
第 1 部 基 本篇 第 3 章 维护 3-50 ● 真空泵分解图 No. 名称 No. 名称 1 内六角螺栓（ M6×95 ） 8 根 10 气缸密封圈 2 泵头盖 1 1 1 气缸 3 连接管 12 内六角螺栓（ M8×20 ） 4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板 5 泵头盖 2 14 碗型密封圈 6 密封圈 15 连杆 7 阀挡板 8 吸排气阀 9 气缸板
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-49
●更换碗型密封圈
1） 拆下气缸。
2） 拆下内六角螺栓(M8×20)。
3） 拆下碗型密封圈压板，更换新的碗型密封圈。
请注意碗型密封圈的方向。要套进连杆。
4） 更换后，以 12.0N・m 的力拧紧内六角螺栓(M8×20)。
※请按照密封材料更换步骤实施盖（罩）的安装。要更换其它消耗部件时，请不要关闭盖（罩），参
照各部位的更换步骤操作。
碗型密封圈压板
内六角螺栓(M8×20)
碗型密封圈
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-50
●真空泵分解图
No.
名称
No.
名称
1 内六角螺栓（M6×95）8 根 10 气缸密封圈
2 泵头盖 1 11 气缸
3 连接管 12 内六角螺栓（M8×20）
4 Ｏ环 P-10 13 碗型密封圈压板
5 泵头盖 2 14 碗型密封圈
6 密封圈 15 连杆
7 阀挡板
8 吸排气阀
9 气缸板
第 1 部 基本篇 第 3 章 维护
3-51
3-9 管道系统图
（1）管道系统图（主机）
a-（正气压） <M、L、L-Wide 基板规格>
工場エア
ﾌﾟﾗｸﾞ
ﾌｨﾝｶﾞﾊﾞﾙﾌﾞ
ｴｱｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮ
ﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾚﾃﾞｭｰｻ
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ATC
正圧計
ﾕﾆｵﾝY
ﾍｯﾄﾞｱｯﾌﾟｼﾘﾝ
ｲｹｲﾕﾆｵﾝ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀ
ｲｹｲﾕﾆｵﾝ
HEAD 正圧
搬送電磁弁
MTC_IFﾊﾟﾈﾙ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾚﾃﾞｭｰｻｴﾙﾎﾞ
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ﾌﾟﾗｸﾞφ8
ﾕﾆｵﾝY
MTS_IFﾊﾟﾈﾙ
ﾄﾞﾗｲﾌﾞｼﾘﾝﾀﾞ
ﾄﾞﾗｲﾌﾞｼﾘﾝﾀﾞ
ﾕﾆｵﾝY
ﾕﾆｵﾝY
ﾊﾞﾝｸﾘﾌﾀｰ
ﾃｰﾌﾟｶｯﾀｰ
ﾕﾆｵﾝY
ﾕﾆｵﾝY
ﾌﾛｱﾄﾛﾘｰｴｱ
ﾌﾛｱﾄﾛﾘｰｴｱ
【
OUT
】
【IN】
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
ﾕﾆｵﾝｽﾄﾚｰﾄ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Xﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
Yﾌﾟﾗﾚｰﾙ
正压
直接接头
插头
歧管
气源处理联件
指状阀
正压计
减压器
减压器
减压器
插头
减压弯头
Y 形三通接头
插头
插头
Y Plarail
减压弯头
调压器
传送电磁阀
直接接头
减压弯头
直接接头
直接接头
台架升降机（OP）
异形接头
切带器（OP）
Y 形三通接头
Y 形三通接头
Y 形三通接头
Y 形三通接头
面板
Y 形三通接头
面板
驱动气缸
车间推车气压
后侧
车间推车气压
前侧
驱动气缸
前侧
工场气压
Y Plarail
贴片头上升气缸
X Plarail
X Plarail
异形接头