FX-1R_InstructionManual_C_Rev03a.pdf - 第290页
第 6 章 编辑辅助功能 6-18 ④ 示教检测框架。 ③的操作完成后，自动显示标记尺寸 1.5 倍的窗口与画面中心一致 （默认窗口） 。 需要改变检测框架时，按③的顺序进行。 在这里，按下 HOD 的 PREVIOUS 键后，可以返回到测量框架示教（③的操作） 。 ⑤ 完成示教后，显示画面，询问是否注册到标记数据库。 图 6.1-8 基板标记示教（2） 用设定测量框的同样方法设定检测框。 调整好后请按下 ENT ER 键。
第 6 章 编辑辅助功能
6-17
标记识别不稳定时，在指定上述③标尺框（测量框）左上角之前，
先按[设置照明条件]按钮，变更照明图形。
在指定标尺框 (测量框) 左上角时，会出现下列画面提示。
图 6.1-6 图像示教中画面
若是设置[标准照明]后可识别标记，则可省略设置照明条件的操作。只有在标记识别不
稳定时，请按下列方法重新设置照明条件。
按下[设置照明条件]按钮后，出现下面的对话框。请设置照明类型。
图 6.1-7 设置照明类型的画面
照明类型 处理
标准照明 识别一般的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片照明 标记上有阻剂/保护胶片，在标准照明条件下反射不准、
识别不稳定时使用。
用户定义照明*
在上述两种类型里标记反射不佳、识别不稳定时，可以
直接设定垂直照明及角度照明的亮度。
* 用户定义的照明程度的亮度，请设定为 50～200。光量 50 以下有时不稳定。
设置照明条件
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6-18
④ 示教检测框架。
③的操作完成后，自动显示标记尺寸 1.5 倍的窗口与画面中心一致（默认窗口）。
需要改变检测框架时，按③的顺序进行。
在这里，按下 HOD 的 PREVIOUS 键后，可以返回到测量框架示教（③的操作）。
⑤ 完成示教后，显示画面，询问是否注册到标记数据库。
图 6.1-8 基板标记示教（2）
用设定测量框的同样方法设定检测框。
调整好后请按下 ENTER 键。
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6-19
若要把新建的示教数据注册到标记数据库时，请输入注册名称，按下[新建] 按钮。
若要覆盖已注册的示教数据，请输入要覆盖的名称，将光标放到注册区的覆盖目标
数据行上，按下[覆盖] 按钮。
示教数据不注册到标记数据库时，请按下[取消] 按钮。
No 选择按钮 处理
1 新建 输入新建名称，将示教数据注册到标记数据库里，退出。
2 覆盖 与光标选择行的数据进行替换。
3 取消 示教数据不注册到标记数据库里，退出。
至此，识别示教操作即告完成。
完成识别示教之后，标记数据旁边显示“*”符号,表明已经完成示教。请对所有
使用的标记进行识别示教。
在进行示教中，若按下 HOD 的 CANCEL 键，为结束示教。（在这种情况下，前面
所输入的数据全部无效）。
按下 CANCEL 键，装置停止移动。
按下 HOD 的 CAMERA 键后，黑白发生反转。与基板颜色比标记不鲜明时，可按下
CAMERA 键，使黑白反转，用 HOD 调整亮度，使标记显示为白色。
按下 CAMERA 键反转标记的功能，只在输入标尺框时有效。