FX-1R_InstructionManual_C_Rev03a.pdf - 第662页
第 11 章 预热 11-6 11.3. 预热运行内容 预热进行中显示如下对话框。 图 11.3-1 预热中对话框 轴 进行 XL、XR、Y、Y 台、Z、θ各轴马达和真空 SV、吹气 SV、CAL 校准台真空 SV、CAL 校准 台照明、信号灯、ATC 滑动板的运行操作。 但是，ATC 滑动板的运转在开、关 10 次后结束。 传送 进行 IN、OUT、CNT 各种马达、支撑台、停止挡销、基板察觉挡销运转操作。 但是，基板察觉挡销在运转 …
第 11 章 预热
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(2) 固定速度的默认值
在[预热]对话框的[固定速度]框中设置速度默认值。
这里设定的值，在按下[保存设置]按钮后，从下次显示[预热]对话框时有效。
[低速→高速]的转换条件
在[预热]对话框里设置速度后，要设置[低速→高速]的转换条件。
[提高速度]、[继续提高]选项按钮
(1) [提高速度]：
从文本框和[时间（分）]、[次数]单选项中指定数值，进行转换。
以低速的速度条件运转一定时间（或者次数）后，再以中速的速度条件运转一定时间（或
者次数），之后以高速的速度条件运转。
比如：设定为
低速→中速：5
中速→高速：5
时间（分）
的情况下，低速运转 5 分钟后，中速运转 5 分钟，之后高速运转。
(2) [继续提高]：
根据从低速开始到高速运转逐阶段提高速度的要求，分配从低速达到高速各个阶段的速
度运行周期数。
从低速到高速的执行周波数
设定从低速到高速运转为止的运转周波数。
以到达最高速度为标准，设置低速比例为 50%、高速 100%时的运转状态为：
当[从低速到高速的执行周波数]设置为 50 时，最初的周波速度以最高速度的 50%
运转、第二次以 51%运转、第三次以 52%的速度运转，依次提高速度，到第 50 次以 100%
的速度运转。
选择[提高速度]时，[从低速到高速的执行周波数]无效并浅色显示。
[确定]、[取消]、[保存设置]按钮
[确定] ：回到初始画面，用新设定的条件进行预热。
[取消] ：放弃设定的变更，回到[预热]对话框。
[保存设置] ：保存在[机械控制参数的设定]菜单中的[其它][设定项目][预热]项目中。不
关闭本对话框。
第 11 章 预热
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11.3. 预热运行内容
预热进行中显示如下对话框。
图 11.3-1 预热中对话框
轴
进行 XL、XR、Y、Y 台、Z、θ各轴马达和真空 SV、吹气 SV、CAL 校准台真空 SV、CAL 校准
台照明、信号灯、ATC 滑动板的运行操作。
但是，ATC 滑动板的运转在开、关 10 次后结束。
传送
进行 IN、OUT、CNT 各种马达、支撑台、停止挡销、基板察觉挡销运转操作。
但是，基板察觉挡销在运转 ON、OFF4 次后结束。
总操作信息
显示进行预热运转的总操作时间、总操作次数。
按下<STOP>开关，或者选择[停止]按钮后，显示对话框，要求确认结束。
在确认结束对话框中，选择[是]后，结束预热。选择[否] 后，继续进行预热。
第 12 章 空运行模式
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12. 空运行模式
不进行基板生产，把设备作为传送带，传送基板之用。
从主画面菜单栏选择[维护]→[空运行模式]，显示以下画面。
图 12-1 [空运行模式] 对话框
按下[确定]按钮后，启动空运行模式，显示如下对话框。
图 12-2 [空运行模式运行显示] 对话框
按下[停止]按钮后，停止[空运行模式]的运行，回到初始对话框。
在这种情况下，如果再次开始空运行模式，所通过的基板数量将累计计算。