FX-1R_InstructionManual_C_Rev03a.pdf - 第294页
第 6 章 编辑辅助功能 6-22 ④ 示教标尺框(设定模版框) 。 把标尺框,按照上边、左边、下边、右边的顺序,用上下、左右箭头键,进行 调整、输入。 (改变标尺框的移动速度时,请按下 FAST 键) 。 可自动识别标记,取得校正数据。 ********** ********** 不改变标记信息、只修改检测框进行示教时,只按下 HOD 的 NEXT 键即可省略 标尺框的示教。 但若识别标记为“新建”时, NEXT 键无效。 标记周围的…

第 6 章 编辑辅助功能
6-21
③ 请设定标记/用户定义的照明类型。
图 6.1-10 设置照明类型的画面
照明类型 处理
标准照明 识别一般的基板标记时使用。
阻剂/保护胶片 在标记上有阻剂/保护胶片,在标准照明条件下反射不
准、示别不稳定时使用。
用户定义*
上述两种类型标记反射不准、识别不稳定时,可以直接
设定垂直照明及角度照明的亮度。
* 用户定义的照明亮度,请设定为 50~200。光量 50 以下有时不稳定。
选择了[用户定义] 照明时,可以直接设定垂直照明、角度照明的量度。

第 6 章 编辑辅助功能
6-22
④ 示教标尺框(设定模版框)。
把标尺框,按照上边、左边、下边、右边的顺序,用上下、左右箭头键,进行
调整、输入。(改变标尺框的移动速度时,请按下 FAST 键)。
可自动识别标记,取得校正数据。
**********
**********
不改变标记信息、只修改检测框进行示教时,只按下 HOD 的 NEXT 键即可省略
标尺框的示教。
但若识别标记为“新建”时,NEXT 键无效。
标记周围的噪音隔离级别可自动获得,反映到监视器。
用 HOD 的↑ 键,↓ 键(XY 上下移动箭头键)调整标记,以使标记能够识别
清
楚、把周围的噪音降到最大限度。
完成调整后,按下 ENTER 键。
显示摄像图像和长方形框。
垫板印刷部分
先设定上边、左边的标尺框。
设置识别对象图像的上边和左边(向箭头符号方向移
动)。
设置后,按下 ENTER 键
画面下方显示“Set Left-Top Point”。
同样地,设定下及右边边的标尺框。
调整后,按下 ENTER 键。
画面下方显示“Set Right-Bottom Point”。

第 6 章 编辑辅助功能
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其次,设定标记判定,选择 PR。
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[ *]PR
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模板的最大尺寸为 256×256 像素(画面的 1/4 左右)。
如果模版过大,则显示错误,返回上面顺序④。
⑤ 示教模板画面的重心。
⑥ 示教检测框。
结束⑤的示教重心后,画面中心自动显示出④ 的操作设定的框 1.5 倍的窗口,
(默认窗口)。此时标记的中心与画面的中心一致。
要改变检测框架时,请按④的顺序进行。
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画面中显示标尺框和十字光标。
使用 HOD 移动十字光标,决定模板的重心(这个位置,与基板数
据的标记坐标是一致的)。
画面下显示 “ TempMatch-Set Center ”。
*将标记对准在 PR 位置上 ,按(HOD
的↑ 键、↓ 键 (XY 上下移动箭头
键)、 ENTER 键。
画面下显示“Select Mark by Up or
Down Key” (请用上下键选择标记)
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