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4. 传感器配置图 QD145-21 80 NXT II 机械手册 4.13 混合校正单元传感器 No. 地址 信号名 1 RX00C 混合校正吸取确认 2 RX006 混合校正吸取真空 ON 3 RX007 混合校正吸取真空 OFF / ऩᨀ䖤䔼䘧 2 1 3 / ঠᨀ䖤䔼䘧 /52 ঠᨀ䖤䔼䘧 2 1 3 / ऩᨀ䖤䔼䘧 /52 ऩᨀ䖤䔼䘧 / ϝᨀ䖤䔼䘧 2 1 …
QD145-21 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 79
4.12 M6-2 扩展搬运轨传感器
No. 地址 信号名
1 CX000 通道 1 搬运轨电路板通过确认 L
2 CX001 通道 1 搬运轨电路板通过确认 R
3 CX005 通道 1 搬运轨真空支撑销确认
4 - 通道 1 搬运轨电路板通过确认 L 放大器
5 - 通道 1 搬运轨电路板通过确认 R 放大器
01MEC-1201
1
2
2
1
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5
4
3
4. 传感器配置图 QD145-21
80 NXT II 机械手册
4.13 混合校正单元传感器
No. 地址 信号名
1 RX00C 混合校正吸取确认
2 RX006 混合校正吸取真空 ON
3 RX007 混合校正吸取真空 OFF
/ऩᨀ䖤䔼䘧
2
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/ঠᨀ䖤䔼䘧
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2
1
3
01MEC-0843Sa
2
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/ঠᨀ䖤䔼䘧
QD145-21 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 81
4.14 电路板高度测定传感器
No. 地址 信号名
1 RY00C 电路板高度传感器 _ 零位移
2 RY00D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
01MEC-1236S
2
1
2
1
3+Ֆಞ