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8. 部件的更换 QD145-21 530 NXT II 机械手册 8.13 料站基座 DC 电源的更换 更换料站基座 DC 电源时,请预先拆除料站托架。 8.13.1 必要工具 十字螺丝刀、六角扳手套件 8.13.2 M3-2 模组的时候 1. 将主电源 开关 OFF。 2. 拆下螺丝 (4 根 ),从托架基座上拆下 DC 电源盖罩。 3. 取下连接在 DC 电源上的插座。 警告 ·在进行更换操作时,请务必在切断电 源后进行。 注意 …

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QD145-21 8. 部件的更换
NXT II 机械手册 529
3. 确认真空泵控制箱的位置,拆除连接在控制箱支架上的插头 (MSICN1、MSICN2、
MSICN3)。
4. 拆除固定真空控制箱的螺栓 (2 )。
5. 从基座中取出控制箱。
6. 以拆除新的真空控制箱的相反的步骤安装模组主体。
8. 部件的更换 QD145-21
530 NXT II 机械手册
8.13 料站基座 DC 电源的更换
更换料站基座 DC 电源时,请预先拆除料站托架。
8.13.1 必要工具
十字螺丝刀、六角扳手套件
8.13.2 M3-2 模组的时候
1. 将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝 (4 ),从托架基座上拆下 DC 电源盖罩。
3. 取下连接在 DC 电源上的插座。
警告
·在进行更换操作时,请务必在切断电源后进行。
注意
·连接电缆的插接,请握住插头不要拉电缆。
·在连接插头时,请确认插头名称注意不要错误。
QD145-21 8. 部件的更换
NXT II 机械手册 531
4. 拆下螺丝 (4 ),从托架基座上拆除 DC 电源并更换。
8.13.3 M6-2/M6-2SP 模组的时候
1. 将主电源开关 OFF。
2. 拆下螺丝 (4 ),从托架基座上拆下 DC 电源盖罩。
3. 取下连接在 DC 电源上的插座。
4. 拆下螺丝 (4 ),从托架基座上拆除 DC 电源并更换。