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7. 消耗品的更换 QD145-21 462 NXT II 机械手册 7. 取下了的线路,与除了机器以外部 位不接触的那样,用绝缘料带等保 护请固定。 8. 请从真空泵取下软管。 9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄,抬起真空泵,从机器基座取出 。 01MEC-1318 警告 请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可 能使腰受伤。 01MEC-1319

QD145-21 7. 消耗品的更换
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4. 请拆除螺栓 (2 个 ),拆除远程 I/O 电路板的 BKT。拆除的 BKT 请放置在不妨碍取出真空
泵的地方。
5. 请拆除螺栓 (3 个 ),拆除隔板。
6. 请拆除真空泵终端箱的盖板,从终端台拆除电源线 (U: 红、V: 白、W: 黑、地线 )。
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7. 消耗品的更换 QD145-21
462 NXT II 机械手册
7. 取下了的线路,与除了机器以外部位不接触的那样,用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 个 )。请握住手柄,抬起真空泵,从机器基座取出。
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警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
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真空泵的分解
1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20),拆除手柄和盖板。
2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头处于上面。
3. 拆除工作头盖罩。
a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×45)。
警告
在进行以下操作时,请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后会与空气一起
进入体内。
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