NXT-II 机械手册.pdf - 第640页
QD145-21 9. 调整 NXT II 机械手册 613 5 . 按 下1次M O D E按 键 。 6. 按下箭头键，设定数值为 「-4P」 。 7 . 按 下1次M O D E按 键 后 决 定 。 8. 再次按下 1 次 MODE 按键 。 9. 关闭传感器放大器的盖罩，将模组 插入原来的位置。 （请参考 「5.1 模组的拉出 / 插 入」 。） 01MEC-0338Sc 㗙 MODE ᣝ䬂 (3) 01MEC-0340J
9. 调整 QD145-21
612 NXT II 机械手册
1. 将要调整的模组向前方拉出。（请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」。）
2. 打开传感器放大器的盖罩。
3. 请把输入模式设定为 「L-on」（避光时 OFF）。
请按下按键 （1），在 5 秒之内按下按键 （2）。
4. 其次进行灵敏度的设定。
连续按下MODE按键(3)3秒左右，再按1次MODE按键(3)后进入灵敏度设定画面。
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9. 调整 QD145-21
614 NXT II 机械手册
9.3 模组用真空传感器的灵敏度调整
9.3.1 调整方法
1. 请向前方抽出要调整的模组。（请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」。）要调整的模组在基
座的左端，而模组的左侧带有盖罩时，要将侧面的盖罩取下以腾出传感器附近的空间。
2. 模组压力传感器配置在前面左下方。这个位置上有编号的传感器有 2 个，从模组的前面
看过去位于后侧的一个为压力传感器。
3. 使用精密的一字型螺丝刀，将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关，使显示值为 -59。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示，调整 SET1 或 SET2 开关后即使开关的值不被显示
出来，调整值也会被变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关，使显示值为 0.0。
7. 为了显示出现在的真空压，将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时，在显示开关值后，务必将开关值调整至正确值。
8. 在取下侧面盖罩时，先把盖罩盖上，再把模组插入原来的位置。（请参考 「5.1 模组的
拉出/插入」。）
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