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QD145-21 6. 预防保养 NXT II 机械手册 297 6.10.2 真空泵过滤器的清扫 1. 拉出模组 。 （参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」 ） 2. 请将主电源开关 OFF。 3. 从基座上拆除盖板。 4. 请将真空配管内设定为大气压。 5. 如果是 2M-2、 4M-2B6 基 座的话，请按 以下步骤拆除 滤芯。 a. 松开滤器套下面的螺栓，从过滤器 上拆除滤器套。 b. 从过滤器里取出滤芯。 警告 更换作业请必…
6. 预防保养 QD145-21
296 NXT II 机械手册
6.10 每 12000 小时的操作
6.10.1 湿气分离器的清扫
1. 拉出模组。（参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」）
2. 请将主电源开关 OFF。
3. 取下基座上的盖板。
4. 请转动供应空气用的手柄，停止外部供应空气。
5. 请拔出空气软管，放松供应空气用手柄。排出管子内的空气。
6. 拧松安装螺栓，拆下滤芯 Assy。
7. 使用压缩空气吹气清扫滤芯，污垢严重时，请更换新的部品。
备注 )请将滤芯 Assy 向上安装在有孔的一面。
滤芯Assy
图号:H3028B
NXTBAS022Sc
盖板
过滤器调节器
湿气分离器
3.3 Nm
5.88 Nm
6. 预防保养 QD145-21
298 NXT II 机械手册
6. 如果是 4M-2 基座的话，按以下步骤拆除滤芯。
a. 往下滑动滤器套上的按钮，从过滤器上拆除过滤器套。
b. 拆除滤芯外套后，取出滤芯。
7. 用中性洗涤剂清洗过滤器套。
8. 用压缩空气吹气清扫滤芯或者在污垢严重时更换新的部品。
01MEC-0294Sb
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