NXT-II 机械手册.pdf - 第72页
QD145-21 3. 各部分的功能说明 NXT II 机械手册 45 3. 各部分的功能说明 本章就主要部件的功能进行说明 。 3.1 基座 基座上装载着模组。使用与模组 结构相匹配的基座。 搭载三搬运轨道的模组，请使用 专用基座。 3.1.1 2M-2 基座 最 多 可 安 装2个M 3 - 2模 组 。 如 果 是 M 6 - 2(SP) 模组 ，则可装载 1 台。 3.1.2 4M-2 基座 最 多 可 装 载4个M 3 - 2…
2. NXT-2 的构成部分 QD145-21
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4M-2B6 基座
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QD145-21 3. 各部分的功能说明
NXT II 机械手册 45
3. 各部分的功能说明
本章就主要部件的功能进行说明。
3.1 基座
基座上装载着模组。使用与模组结构相匹配的基座。
搭载三搬运轨道的模组，请使用专用基座。
3.1.1 2M-2 基座
最多可安装2个M3-2模组。如果是M6-2(SP) 模组，则可装载 1 台。
3.1.2 4M-2 基座
最多可装载4个M3-2模组。如果是M6-2(SP) 模组，则可装载 2 台。
3.1.3 4M-2B6 基座
这是 M6-2(SP) 模组专用的基座。最多可安装 2 台模组。不能安装 M3-2 模组。基座前面贴有
[4MIIB6] 铭板。
01MEC-0312Sb
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3. 各部分的功能说明 QD145-21
46 NXT II 机械手册
3.2 模组
各个模组是由 XY 机械手、搬运轨道、电路板挡块、料站托架、影像处理相机等构成。XY 机
械手上设有搭载贴装工作头的支架。
3.2.1 M3-2 模组
宽度为 320mm，占有基座上 1 个单位的空间。模组内有通过伺服马达和滚珠丝杆驱动的 X 轴、
通过线性马达驱动的 Y 轴，还在 XY 机械手上配备有作为子轴的 XS 轴。
3.2.2 M6-2 模组
宽度为 645mm，占有基座上 2 个单位的空间。模组内配备有根据伺服马达和滚珠丝杆驱动的
X 轴、Y 轴。
3.2.3 M6-2SP 模组
宽度为 645mm，占有基座上 2 个单位的空间。模组内配备有用伺服马达和滚珠丝杆驱动的 X
轴、用线性马达驱动的 Y 轴。搬运轨道与 M6-2 模组相同。与 M6-2 模组相比 , 可以高精度贴
装元件。另外 , 可以安装多晶圆单元。
01MEC-0313Sb
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