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6. 预防保养 QD145-21 226 NXT II 机械手册 XY 机械手 〈M3-2〉 线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - - X 轴齿 轮 *15 - - - ★ - - - - 5 X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5 X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5 Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5 XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5 XS 轴滚珠丝杆 - - - - …
QD145-21 6. 预防保养
NXT II 机械手册 225
V12 工作头 反光镜 ● - - - - ▲ - - 5
升降杆和升降杆内 O 型圈 - ★ - - - - - - 10
棱镜的玻璃用 - ★ - - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - ★ - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
槽凸轮的槽 - - - - - - ★ - 5
元件相机镜头 - - - - - - - ● *16 10
搬运轨道 电路板通过确认传感器 - - - - - ● - - 5
CZ 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 15
宽度变更滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
搬运轨道传送带张力 - - - - - - ■ ▲ *6 10
搬运轨道传送带 - - - - - - - ● *6
软支撑销 - - - - - - - ● *9
CZ 轴传送带张力 - - - - - - - ■ *10
搬运马达传送带张力 - - - - - - - ■ *6
变更宽度马达传送带张力 - - - - - - - ■ *11
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
6. 预防保养 QD145-21
226 NXT II 机械手册
XY 机械手
〈M3-2〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 *15 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
XS 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
XS 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
XS 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
XY 机械手
〈M6-2/M6-
2SP〉
线性马达冷却风扇过滤器 - - - ● - ▲ - -
X 轴齿轮 - - - ★ - - - - 5
X 轴滚珠丝杆 - - - - ★ - - - 5
X 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
Y 轴导轨 - - - - ★ - - - 5
X/Y 轴平型电缆 - - - ★ ★ - - - 10
定位相机 光源内板透镜面 - - - - - ● - - 3
元件相机 玻璃罩面 ● - - - - - - - 2
光源内玻璃面 ● - - - - - - - 2
镜头 - - - - - ● - - 15
废料带处理
单元
导轨 - - - - - - ★ - 20
切刀 - - - - - - - ● *7 20
输送槽 - - - - - - - ● *8 15
刷子 - - - - - - - ▲ *14 20
主体 模组内部 ● - - - - - - - 2
基座 · 模组支持面 - - - ★ - - - - 5
空气调节器 - - - - - ● - - 15
湿气分离器 - - - - - - ● - 15
真空泵过滤器 - - - - - - ● - 15
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
QD145-21 6. 预防保养
NXT II 机械手册 227
排出元件搬
运轨
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
料盘单元 -L 料站、接插头 - - ● - - - - - 5
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - - - - - ● - 10
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *4 5
料盘单元 -
LT
料站、接插头 ● - - - - - - - 1
搬运轨道皮带 - - ● - - - - - 5
往复臂皮带 - - ● - - - ● - 5
TZ1/TZ2 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
升降部齿轮 - - - - - - ★ - 10
TZ1/TZ2 轴皮带张力 - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （往复臂） - - - - - - ■ - 10
TY 轴皮带张力 （驱动部） - - - - - - ■ - 10
料盘托架背面贴片 - - - - - - ■
▲
-1
5
料站基座连接接插头 - - - - - - - ● *4 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )