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QD145-21 7. 消耗品的更换 NXT II 机械手册 463 真空泵的分解 1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20),拆除手柄和盖板。 2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头 处于上面。 3. 拆除工作头盖罩。 a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×45)。 警告 在进行以下操作时,请带好防尘 口罩和手套。细微的尘屑在空气中 浮游后会与空气一起 进入体内。 30MEC-0364 30MEC-03…

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7. 消耗品的更换 QD145-21
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7. 取下了的线路,与除了机器以外部位不接触的那样,用绝缘料带等保护请固定。
8. 请从真空泵取下软管。
9. 请拆除真空泵的固定螺栓 (4 )。请握住手柄,抬起真空泵,从机器基座取出
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警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
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QD145-21 7. 消耗品的更换
NXT II 机械手册 463
真空泵的分解
1. 用六角扳手拧松固定手柄的内六角螺栓 (M6×20),拆除手柄和盖板。
2. 请预先竖起真空泵使更换的工作头处于上面。
3. 拆除工作头盖罩。
a. 请拆除固定工作头盖罩的 4 个内六角孔螺栓 (M6×45)。
警告
在进行以下操作时,请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后会与空气一起
进入体内。
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b. 同样,也请拆除另一侧的工作头盖罩的固定螺栓。
c. 请拆除与连接管在一起的工作头盖罩。
注意 )在拆除工作头盖罩时,请不要将汽缸一起拆除。汽缸内的元件有可能飞散。
d. 请从工作头盖罩上拔出 2 根连接管子。
e. 请拆除安装在连接管 (2 ) 上的 O 型圈 (4 )。
f. 请用吸取了工业用酒精的废棉纱头,擦拭、脱脂和清扫连接管的全体。请特别认真
地清扫 O 型圈的槽部。
4. 拆除气缸。
a. 请在拆除气缸前,在套管和气缸上标注。
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