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QD145-21 7. 消耗品的更换 NXT II 机械手册 459 7.27 4M-2 基座用真空泵的损耗品的更换 <DOP-400SA> 请将吸气阀、垫圈等损耗品更换 成真空泵维修保养套件的新部件。 4M-2c 基座根据销售时期真空泵的型号不同。请确认真空泵 表面 ( 下记插图圈印 ) 贴的标 牌的型号,记载 为 「 DOP-400SA」时 ,按照以下方 法进行作业。 7.27.1 更换时期 机器每运转 10,000 小…

7. 消耗品的更换 QD145-21
458 NXT II 机械手册
8. 将工作头盖罩安装在外壳上。
a. 将工作头盖罩的接头插入到管内,把外壳的螺丝孔与工作头盖罩的孔对齐。
b. 将 4 根内六角螺栓 (M6×L30)用紧固转矩 8N·m 拧紧。
(更换连接管时,请切成与泵相同的长度进行更换。)
9. 插入连接管。(更换时,请切成与泵相同的长度进行更换。)
10.将泵横放,安装手柄和平板。
真空泵的安装
1. 请按照与拆除相反的步骤,将真空泵安装到基座上。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。

QD145-21 7. 消耗品的更换
NXT II 机械手册 459
7.27 4M-2 基座用真空泵的损耗品的更换 <DOP-400SA>
请将吸气阀、垫圈等损耗品更换成真空泵维修保养套件的新部件。
4M-2c 基座根据销售时期真空泵的型号不同。请确认真空泵表面 ( 下记插图圈印 ) 贴的标
牌的型号,记载为 「DOP-400SA」时,按照以下方法进行作业。
7.27.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
7.27.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H66817)
注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。
01MEC-1314
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀A 4
3阀D 4
4阀盖 4
5 眼镜型密封圈 4
6 O 型密封圈 8
30MEC-0360a
1
2
4
5
3
6

7. 消耗品的更换 QD145-21
460 NXT II 机械手册
工具类
7.27.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 把在基座上右端的模组处于半拉出的状态,将主开关 OFF。
2. 等待真空泵表面温度下降到室温。
3. 拆除固定轨道的螺栓 (2 个 ),在不妨碍取出真空泵的状态下折弯轨道。然后拆除盖板
(2 块 )。
工具 六角扳手套件 -
转矩扳手 5 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 10 Nm)
6 mm 内六角扳手 ( 紧固转矩 12 Nm)
十字螺丝刀 No.2
其他 工业用乙醇酒精 擦拭清扫用
纸废棉纱头 擦拭清扫用
防尘口罩 -
手套 -
油性笔 -
警告
更换作业时,请注意没有另外的作业者插入模组。手指有可能被夹住后切断。
在进行拆除真空泵作业前,请务必切断机器主电源。
警告
请在泵停止后放置 30 分钟以上,确认真空泵冷却后再进行操作。运转刚停止后在泵的
内部很热,有可能造成灼伤。