NXT-II 机械手册.pdf - 第108页
QD145-21 4. 传感器配置图 NXT II 机械手册 81 4.14 电路板高度测定传感器 No. 地址 信号名 1 RY00C 电路板高度传感器 _ 零位移 2 RY00D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止 01MEC-1236S 2 1 2 1 3+Ֆಞ
4. 传感器配置图 QD145-21
80 NXT II 机械手册
4.13 混合校正单元传感器
No. 地址 信号名
1 RX00C 混合校正吸取确认
2 RX006 混合校正吸取真空 ON
3 RX007 混合校正吸取真空 OFF
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01MEC-0843Sa
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3
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QD145-21 4. 传感器配置图
NXT II 机械手册 81
4.14 电路板高度测定传感器
No. 地址 信号名
1 RY00C 电路板高度传感器 _ 零位移
2 RY00D 电路板高度传感器 _ 激光投射停止
01MEC-1236S
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3+Ֆಞ
4. 传感器配置图 QD145-21
82 NXT II 机械手册
4.15 料盘单元 -L 传感器
4.15.1 安全门
No. 地址 信号名
1 IN00 上部安全门关闭确认
2 IN01 后面安全门关闭确认
3 IN02 下部安全门关闭确认
4 IN04 紧急停止
5 IN1E 供应结束 SW
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