NXT-II 机械手册.pdf - 第642页

QD145-21 9. 调整 NXT II 机械手册 615 9.4 模组用压力传感器的灵敏度调整 9.4.1 调整方法 1. 请向前方抽出要调整的模组。 (请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」 。 )要调整的模组在基 座的左端,而模组的左侧带有盖罩 时,要将侧面的盖罩取下以腾出传 感器附近的空间。 2. 模组压力传感器配置在前面左下方 。这个位置上有编号的传感器有 2 个,从模组的前面 看过去位于后侧的一个为压力传感 器。 3. …

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9. 调整 QD145-21
614 NXT II 机械手册
9.3 模组用真空传感器的灵敏度调整
9.3.1 调整方法
1. 请向前方抽出要调整的模组。(请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」)要调整的模组在基
座的左端,而模组的左侧带有盖罩时,要将侧面的盖罩取下以腾出传感器附近的空间。
2. 模组压力传感器配置在前面左下方。这个位置上有编号的传感器有 2 个,从模组的前面
看过去位于后侧的一个为压力传感器。
3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,使显示值为 -59。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示,调整 SET1 SET2 开关后即使开关的值不被显示
出来,调整值也会被变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关,使显示值为 0.0。
7. 为了显示出现在的真空压,将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时,在显示开关值后,务必将开关值调整至正确值。
8. 在取下侧面盖罩时,先把盖罩盖上,再把模组插入原来的位置。(请参考 「5.1 模组的
出/插
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QD145-21 9. 调整
NXT II 机械手册 615
9.4 模组用压力传感器的灵敏度调整
9.4.1 调整方法
1. 请向前方抽出要调整的模组。(请参考 「5.1 模组的拉出 / 插入」)要调整的模组在基
座的左端,而模组的左侧带有盖罩时,要将侧面的盖罩取下以腾出传感器附近的空间。
2. 模组压力传感器配置在前面左下方。这个位置上有编号的传感器有 2 个,从模组的前面
看过去位于后侧的一个为压力传感器。
3. 使用精密的一字型螺丝刀,将 MODE 开关变更到 “S1”。
4. 用螺丝刀调节 SET1 开关,使显示值为 0.40。
备注 )变更 MODE 开关的设定只能变更显示,调整 SET1 SET2 开关后即使开关的值不被显示
出来,调整值也会被变更。
5. 用螺丝刀将 MODE 开关变更到 “S2”。
6. 用螺丝刀调节 SET2 开关,使显示值为 0.0。
7. 为了显示出现在的真空压,将 MODE 开关调回到 “ME”。
备注 )在未显示开关值的状态下变更开关时,在显示开关值后,务必将开关值调整至正确值。
8. 在取下侧面盖罩时,先把盖罩盖上,再把模组插入原来的位置。(请参考 「5.1 模组的
出/插
01MEC-0304Sb
3693:0
36*3:0
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9. 调整 QD145-21
616 NXT II 机械手册
9.5 基座用真空传感器的灵敏度调整
1. 基座真空传感器配置在前面左侧。用于这一传感器的显示屏为两个显示屏的右面一个。
2. 持续按 「S」按 5 秒以上显示出 LoC」。变换显示出 F 0」LoC」
3. 按箭头键中的任意一个显示出 「UnL」,再按 「s」键。解除锁定。
4. 持续按 「s」键 2 秒以上后,显示出 「F 0」
5. 当显示屏下侧的单位显示不是 「kPa」时,按下 「s」键,用箭头键显示出 「PA」后按
「s」键,单位显示已经是 「kPa」时不需要此操作。
备注 )设定单位时用箭头键切换 「PA」和 「*PA」, 在此,「*PA」 「*」表示记号已经显示
的意思。
6. 「F 0」的状态按下箭头键后显示 「F 1」,请按下 「s」键,交替显示 「oU1」和
「HYS」
7. 请按 「s」键。交替显示 「lot」和 「1_P」
8. 请按 「s」键。显示出 「P_1」,请用箭头键设定为 「-59.0」
9. 请按 「s」键。显示出 「H_1」,请用箭头键设定为 「0.000」
10.请按 「s」键。交替显 Co1」和 「SoG」
11.请按 「s」键。显示出 「F_1」
12.请按 「s」键 2 秒以上,显示出当前的压力值。
13.请按 「s」键 5 秒钟,交替显示 「F 0」和 「UnL」
14.按箭头键中的任意一个显示出 「Loc」后,请按 「s」键。锁定设定。