NXT-II 机械手册.pdf - 第250页
QD145-21 6. 预防保养 NXT II 机械手册 223 H08 工作 头 H08Q 工作 头 棱镜的玻璃面 ( 仅仅是 H08Q 工作头 ) ●- - - - - - - 5 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20 升降杆内部 - - ● - - - - - 25 升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10 Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5 机械阀的 O 型圈…
6. 预防保养 QD145-21
222 NXT II 机械手册
H04 工作头 真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 15
升降杆外周和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-5
20
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H04S/H04SF
工作头
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 10
升降杆外周和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ),
升降杆齿轮
--★---- - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-5
20
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
QD145-21 6. 预防保养
NXT II 机械手册 223
H08 工作头
H08Q 工作头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H08Q 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H08M 工作头
H08MQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H08MQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
升降杆端面 - ★ - - - - - - 20
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 25
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-10
40
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 5
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 5
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 10
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )
6. 预防保养 QD145-21
224 NXT II 机械手册
H12/H12S 工
作头
H12SQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 5
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
步进马达部分的凸轮 - - - - - - ★ - 10
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - - - ★ - 5
R 轴齿轮 - - - - - - ★ - 5
H12HS 工作
头
H12HSQ 工作
头
棱镜的玻璃面
( 仅仅是 H12SQ 工作头 )
●- - - - - - - 5
真空过滤器 - - ● - - ▲ - - 20
升降杆内部 - - ● - - - - - 35
升降杆和升降杆内 O 型圈 - - ★ - - - - - 10
Q 轴齿轮 ( 下部升降杆侧 ) - - ★ - - - - - 10
机械阀的 O 型圈 - - ■ - - -
▲
-15
60
机械阀驱动用转臂旋转轴 - - - - ★ - - - 5
Q 轴齿轮 ( 上部马达侧 ) - - - - ★ - - - 5
R 轴齿轮 - - - - ★ - - - 5
Z 轴滚珠丝杆 - - - - - - ★ - 10
Z 轴导向往复臂 - - - - - - ★ - 10
机械阀驱动用凸轮推杆 - - - - - - ★ - 10
维修保养项目
（●：清扫、★：加油、■：检查、▲：更
换）
每周
(160h)
每2周
(320h)
每1月
(700h)
每3月
(2,000h)
每6月
(4,000h)
每1年
(8,000h)
每 12,000
时间
不定期
操作时间 ( 分 )