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3 技術資料 SIPLACE HF 系列使用 手冊 3.10 懸臂 軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中 文版 130 3.10.5 Y 軸 的構造 3 圖 3.10 - 4 Y 軸的構造 3 (1) 含有永久磁鐵的線性驅動裝置 (2) 導軌系統 (3) 線性距離測量系統 (4) 拖曳纜線
SIPLACE HF 系列使用手冊 3 技術資料
軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版 3.10 懸臂
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X軸基本上由下列主要模組構成：
– 懸臂 (1)
– 頭座 (2)
– 線性距離測量系統 (3)
– 導軌系統 (4)
– 含有永久磁鐵的線性驅動裝置 (5)
– 拖曳纜線 (8)
3
頭座 (2) 則包含下列組件：
– 副懸臂攝影機 (PCB 檢視模組 PCB 攝影機 )(6)
– 頭座配接盤組 (7)
– 測量系統的測量頭
– 收取及置放頭或 SIPLACE 雙取置頭 (TwinHead)
懸臂 ( 圖 3.10 - 3
第 1 項 ) 以碳纖維複合材料製成，不只讓模組變得極端輕，同時也有極高的剛性。
X 軸是以線性馬達驅動。驅動裝置的第二部份包括一個安裝在懸臂上的永久磁鐵。而第一部分則是
與頭座以螺栓結合在一起。頭座的設計可以用來承載任何種類的取置頭－這是另一個 SIPLACE 取
置機所能達到的高水準適用彈性的表徵。
3.10.4 X 軸技術資料
3
驅動裝置 直流驅動、線性馬達
最高速度 2.5 m/sec.
移動軌道
480 mm
距離測量系統
金屬直線尺規
尺規長度
520 mm
解析度
1 µm
3 技術資料 SIPLACE HF 系列使用手冊
3.10 懸臂 軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版
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3.10.5 Y 軸的構造
3
圖 3.10 - 4 Y 軸的構造
3
(1) 含有永久磁鐵的線性驅動裝置
(2) 導軌系統
(3) 線性距離測量系統
(4) 拖曳纜線
SIPLACE HF 系列使用手冊 3 技術資料
軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版 3.10 懸臂
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Y軸基本上由下列主要模組構成：
– 含有永久磁鐵的線性驅動裝置 (1)
– 導軌系統 (2)
– 線性距離測量系統 (3)
– 拖曳纜線 (4)
Y 軸是以線性馬達驅動。第二部份的驅動是由安裝在機架上的永久磁鐵所產生的。而第一部分則是
與懸臂以螺栓結合在一起。
3.10.6 Y 軸技術資料
驅動裝置 直流驅動、線性馬達
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
1430 mm
距離測量系統
金屬直線尺規
尺規長度
1850 mm
解析度
1 µm