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SIPLACE HF 系列使用手 冊 3 技術資料 軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中 文版 3.10 懸臂 131 Y軸 基本上由下列主要模組 構成： – 含有永久磁鐵的線性驅動裝置 (1) – 導軌系統 (2) – 線性距離測量系統 (3) – 拖曳纜線 (4) Y 軸是以線性馬達驅動 。 第二部份的驅動是由安裝在機架上的永久磁鐵所產生 的 。 而第一部分則是 與懸臂以螺栓結合在一起。 3.10.6 Y 軸技術資料 驅…
3 技術資料 SIPLACE HF 系列使用手冊
3.10 懸臂 軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版
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3.10.5 Y 軸的構造
3
圖 3.10 - 4 Y 軸的構造
3
(1) 含有永久磁鐵的線性驅動裝置
(2) 導軌系統
(3) 線性距離測量系統
(4) 拖曳纜線
SIPLACE HF 系列使用手冊 3 技術資料
軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版 3.10 懸臂
131
Y軸基本上由下列主要模組構成：
– 含有永久磁鐵的線性驅動裝置 (1)
– 導軌系統 (2)
– 線性距離測量系統 (3)
– 拖曳纜線 (4)
Y 軸是以線性馬達驅動。第二部份的驅動是由安裝在機架上的永久磁鐵所產生的。而第一部分則是
與懸臂以螺栓結合在一起。
3.10.6 Y 軸技術資料
驅動裝置 直流驅動、線性馬達
最高速度
2.5 m/sec.
移動軌道
1430 mm
距離測量系統
金屬直線尺規
尺規長度
1850 mm
解析度
1 µm
3 技術資料 SIPLACE HF 系列使用手冊
3.11 檢視模組 軟體版本 SR.505.xx 05/2004 中文版
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3.11 檢視模組
每個 6 取置節及 12 取置節 / 取置頭都有一個單獨的元件檢視模組 ( 參閱 98 頁圖 3.6 - 3 及 103 頁圖
3.6 - 6
)。靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22) 50 x 40 被固定於機架上。
靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22，50 x 40) 的組裝位置 3
3
3
圖 3.11 - 1 靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22，50 x 40) 的組裝位置
3
(1) 位置 1 的組裝位置
(2) 位置 3 的組裝位置
雙取置頭 (TwinHead) 靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22) 50 x 40
取置區 1 位置 1(HF 取置機 )
取置區 2 位置 3(HF 及 HF/3 取置機 )