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QD053-07 7. 消耗品的更换 AIM 机械手册 191 3. 请拆除下述的连接处。 a. 用六角扳手 （2.5mm ）拆除螺丝 （2 根） ，拆除温 度保险丝箱。 b. 拔出真空管。 c. 拆除导线接头 （2 处） 。 4. 用六角扳手 （5mm）拆除安 装真空泵的固定板的螺栓 （4 根） 。请握住手 柄，抬起真空 泵，从机器基座中取出固定板。 警告 请必须在 2 人以上进行操作 。决不要在勉强的姿势下抬起泵。 有可能使腰 受伤…
7. 消耗品的更换 QD053-07
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7.17.3 更换方法
真空泵的拆除
1. 拆除模组 2、Side2 侧的下部盖板。
2. 拆除机器内部的废料带输送槽。
备注 )在自动排出料盘单元 -L 空料盘功能（选项）的时候，废料带输送槽的形状不同，但是
安装 / 拆除的要领相同。
警告
·在进行拆除真空泵操作前，请务必切断机器主电源。
·请在泵停止后放置 30 分钟以上，确认泵冷却后进行操作。一旦运转停
止，泵内部变热，会造成火伤。
QD053-07 7. 消耗品的更换
AIM 机械手册 191
3. 请拆除下述的连接处。
a. 用六角扳手 （2.5mm）拆除螺丝 （2 根），拆除温度保险丝箱。
b. 拔出真空管。
c. 拆除导线接头 （2 处）。
4. 用六角扳手 （5mm）拆除安装真空泵的固定板的螺栓 （4 根） 。请握住手柄，抬起真空
泵，从机器基座中取出固定板。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
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7. 消耗品的更换 QD053-07
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真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6 × L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6 × L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的装
配接头一点点交替地拔出。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。