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7. 消耗品的更换 QD053-07 192 AIM 机械手册 真空泵的分解 1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （ M6 × L16） 拧松，拆下手柄和平板。 2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向 放置。 3. 拆除工作头的盖罩。 a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六 角螺栓 （M6 × L3 0）拧松，拆下内六角螺栓。 b. 用双手将装配接头向己方按压， 拔掉连接管。 拆下工作头盖罩。 此时， 请将左右的装 配接头一点…
QD053-07 7. 消耗品的更换
AIM 机械手册 191
3. 请拆除下述的连接处。
a. 用六角扳手 （2.5mm）拆除螺丝 （2 根），拆除温度保险丝箱。
b. 拔出真空管。
c. 拆除导线接头 （2 处）。
4. 用六角扳手 （5mm）拆除安装真空泵的固定板的螺栓 （4 根） 。请握住手柄，抬起真空
泵，从机器基座中取出固定板。
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰
受伤。
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7. 消耗品的更换 QD053-07
192 AIM 机械手册
真空泵的分解
1. 用六角扳手将固定手柄的内六角螺栓 （M6 × L16）拧松，拆下手柄和平板。
2. 尽量使要更换的工作头处于上方将泵竖向放置。
3. 拆除工作头的盖罩。
a. 用六角扳手将 4 根固定手柄的内六角螺栓 （M6 × L30）拧松，拆下内六角螺栓。
b. 用双手将装配接头向己方按压，拔掉连接管。拆下工作头盖罩。此时，请将左右的装
配接头一点点交替地拔出。
警告
在进行以下操作时，请带好防尘口罩和手套。细微的尘屑在空气中浮游后
会与空气一起进入体内。
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4. 拆下汽缸。
a. 在拆下汽缸前，用油性笔在外壳和汽缸上做标记。
b. 用戴有手套的手，满满地将风扇向上旋转。此时，请必须戴手套。
c. 将汽缸向上拔起。
5. 拆下压板和盖垫。
a. 对准外壳的标记部，用油性笔在压板上做标记。