AIM機械手冊.pdf - 第63页
QD053-07 4. 传感器布置图 AIM 机械手册 47 4.9 多料盘单元 -L 4.9.1 安全门 ※上述地址未显示在 「I/O Monitor」上。 No. 地址 信号名 传感器名 1 IN00 上部安全门关 闭确认 - 2 IN01 后面安全门关 闭确认 - 3 IN02 下部安全门关 闭确认 - 4 IN04 紧急停止 - 5 IN1E 供应结束 SW - 1 2 5 3 4
4. 传感器布置图 QD053-07
46 AIM 机械手册
4.8 单搬运轨道传感器
※上述地址未显示在 「I/O Monitor」上。
No. 地址 信号名 传感器名
1 CX000 通道 1 侧搬运轨道电路板通过确认 L Lane 1 conveyor panel
left
2 CX001 通道 1 侧搬运轨道电路板通过确认 R Lane 1 conveyor panel
right
3 CX004 通道 1 侧搬运轨道电路板夹紧松开确认 Lane 1 panel clamp /
unclamp
4 CX005 通道 1 侧搬运轨道真空支撑销检测 Lane 1 backup pin
detection
5 - 通道 1 侧搬运轨道电路板通过确认 L 放
大器
Lane 1 conveyor in
amplifier
6 - 通道 1 侧搬运轨道电路板通过确认 R 放
大器
Lane 1 conveyor out
amplifier
7 - Z0 Z0 senser
AIMSEN008
2
1
7
4
5
6
3
QD053-07 4. 传感器布置图
AIM 机械手册 47
4.9 多料盘单元 -L
4.9.1 安全门
※上述地址未显示在 「I/O Monitor」上。
No. 地址 信号名 传感器名
1 IN00 上部安全门关闭确认 -
2 IN01 后面安全门关闭确认 -
3 IN02 下部安全门关闭确认 -
4 IN04 紧急停止 -
5 IN1E 供应结束 SW -
1
2
5
3
4
4. 传感器布置图 QD053-07
48 AIM 机械手册
4.9.2 料盘塔
※上述地址未显示在 「I/O Monitor」上。
No. 地址 信号名 传感器名
1 IN1D 托架夹紧关闭确认 -
2 IN1C 托架夹紧打开确认 -
3 IN15 托架下部交接关闭确认 1-2 -
4 IN14 托架下部交接打开确认 1-2 -
5 IN27 空料盘排出确认 -
6 IN28 料盘高度确认 1 -
7 IN29 料盘高度确认 2 -
8 IN2B 料盘收存确认 -
9 IN2C 上部交接托架有无 -
10 IN2D 下部交接托架有无 -
11 OUT20 塔部托架夹紧 -
12 OUT21 塔部托架松开 -
13 OUT25 塔下部托架交接开 / 关 -
14 OUT1D 上部门部 LED 显示 -
15 OUT1E 下部门部 LED 显示 -
NXTMTU019a
1
2
4
5
6
8
10
14
13
11
12
9
8
3
7
15