Fuji errorcode.pdf - 第2102页
<code id="8 0008B7A"> <disp>Coll et 规格数据范围外异 常 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件用 数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 直径 [Y] 的数据、或者 Pod 直径 [Y] 超过了 0 ～ 999 。 ( 补充编码 ) < /c…
</code>
<code id="80008B77">
<disp>筒夹规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 在筒夹规格数据中没有相应的能够吸取的最大晶片尺寸
的数据，或者，能够吸取的最大晶片尺寸超出了 0～99。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认筒夹规格数据的能够吸取的最大晶片尺寸，将能够吸取的最大晶片尺寸
控制在 0～99 的范围内。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B78">
<disp>Collet 规格数据异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 形状的数据。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 形状。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B79">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 直径[X]的数据、或者
Pod 直径[X]超过了 0～999。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 直径[X]并将 Pod 直径[X]在 0～999 的范围内。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7A">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 直径[Y]的数据、或者
Pod 直径[Y]超过了 0～999。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 直径[Y]并将 Pod 直径[Y]在 0～999 的范围内。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7B">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 X
的数据、或者 Pod 定位点读取位置修正 X 超过了-30～30。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 X 并将 Pod 定位点读取位置
修正 X 在-30～30 的范围内。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7C">
<disp>Collet 规格数据范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 没有符合 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 Y
的数据、或者 Pod 定位点读取位置修正 Y 超过了-30～30。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Collet 规格数据的 Pod 定位点读取位置修正 Y 并将 Pod 定位点读取位置
修正 Y 在-30～30 的范围内。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7D">
<disp>顶起速度切换高度设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-
SpeedChangeHeight 的数据值超出了 ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-PushUpHeight
的数据值。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请按照 PushUpHeight ≧ SpeedChangeHeight 这一关系，设定数据值。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7E">
<disp>晶圆尺寸指定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 在元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸的指定中存在问
题。有可能是以下中的一个。
1．被指定了现在使用的 MWU 的类型所不能够生产的尺寸的晶圆托架或晶圆尺寸。
2．晶圆尺寸大于晶圆托架尺寸。晶圆尺寸必须小于或等于晶圆托架尺寸。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请分别确认现在使用的 MWU 的类型、元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸。
MWU 的类型
Machine Configuration - Stage Type
晶圆托架的尺寸
Package Data - Package Information - Pallet Type
晶圆的尺寸
Shape Data - Shape Process - Die - Wafer Size</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7F">