Fuji errorcode.pdf - 第2382页

</code> <code id="8 0009310"> <disp> 现在不使用此错误编码 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件 (4) ] 现在不使用此错误编码 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy > 通常不发生此错误。此错误被显示…

</code>

<disp>晶圆图表数据异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 如果 ShapeData-ShapeProcess-Die-Ref.Die Pos Type 的设定为

Wafermap 时，在晶圆图表中需要 2 处以上的参考晶片，但是，却不能够取得。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>1．请确认是否是晶圆图表中有 2 处以上的参考晶片的图表。

2．如果不是使用晶圆图表管理工具（WMM）的变换版本 V1.20 或更高版本来创建晶圆图

表，请重新创建。

3．如果在晶圆图表中没有 2 处以上的参考晶片，请将 Ref.Die Pos Type 设定为 Wafermap

以外。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入关联</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 预约

( 补充编码 ) </cause>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入关联</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 预约

( 补充编码 ) </cause>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数

据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 分配了 NULL 指针等。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>(1) 请重新接通电源。

(2) 通过上述对策没有解决时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司

Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 文件名超出了 128 个字符。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请缩短文件名。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 在文件名的指定中有禁止字符。

( 能够使用英文字母数字和以下的代码

'!', '#', '$', '%', '&', '-', '`'

'\', '@', '~', '/', '.', '_', ':'

注意：除了文件路径，:被禁止使用。

例：×：A:Readme.txt

○：A:/Readme.txt

====================================

代表性的禁止字符："+""(",")","{","}"," " ) </cause>

<remedy>如果在晶圆图表文件名中使用了禁止文字，请变更为不使用。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆图表读入异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(4) ] 没有文件。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>请通过晶圆图表管理工具创建晶圆图表文件。</remedy>

<img />

</code>