Fuji errorcode.pdf - 第2337页
<remedy >J 请在 JOB 的 Package Data/Package Inf ormati on 的 [X Cut Width],[Y Cut Width] 中 设定数值,或者将 [M easure Waf er Cut Width an d Tilt] 设定为 Yes 。 如果知道切割晶圆后的 晶片和晶片 的槽宽时,请 在 [X Cut Wid th],[Y Cut Width ] 中设定数值。 如果不知道,请…
请重新参考。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009211">
<disp>PZ 轴能够移动的范围外异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] PZ 轴的移动位置在能够移动的范围外。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请确认 Job 的「元件厚度」「吸取修正值 Z」的输入值。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009212">
<disp>元件上表面识别偏位异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>元件上表面识别偏移量超出允许范围。
如果重新指定吸取开始位置后还是报错,则有可能存在下列问题:Job 中的封装数据与实
际的晶圆/料盘不一致,元件的影像识别未成功。
(补充编码)</cause>
<remedy>请重新指定吸取开始位置。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009213">
<disp>晶片切割宽度设定值异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 在 JOB 中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 ) </cause>
<remedy>J 请在 JOB 的 Package Data/Package Information 的[X Cut Width],[Y Cut Width]中
设定数值,或者将[Measure Wafer Cut Width and Tilt]设定为 Yes。
如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时,请在[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值。
如果不知道,请通过测试指令的晶片切割宽度设定,测定晶片切割宽度。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009214">
<disp>晶片切割宽度检测异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 由于不能自动地检测晶圆上的晶片切割宽度,因此,想要使用
JOB 的晶片切割宽度,但是在 JOB 中晶片切割宽度没有被设定。
( 补充编码 子码表示料槽号码。 ) </cause>
<remedy>如果知道切割晶圆后的晶片和晶片的槽宽时,请在 JOB 的 Package
Data/Package Information 的[X Cut Width],[Y Cut Width]中设定数值。如果不知道,请通过测
试指令的晶片切割宽度设定,测定晶片切割宽度。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009215">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不会发生该错误。如果显示该错误,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪
数据,与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009216">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据,与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009217">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据,与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009218">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时,对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据,与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80009219">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码
( 补充编码 ) </cause>