Fuji errorcode.pdf - 第3617页

<cause>M WU12i ：吸取开始位置超出指定范围。 ( 补充编码子码编码表示现在吸取位置与吸取范围的位置关系。 ( 图 ))</caus e> <remedy >MWU12i ：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指定，所以请事先实施以下任意处理。 1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。 2. 在「吸取开始…

参照手册：Reference operation manual</remedy>

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</code>

<disp>Rank 信息异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：Job 内设定的 Rank 信息可能超过了 16 个种类。或者晶圆图表文件内

设定的 BINCODE 信息可能超过了 16 个种类。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 Job 项目的 PartData-Property-Rank to use。请修正为 16

个种类以内的设定后，重新传送。2．１没有问题时，请打开出现异常的晶圆图表文件，

确认生产中使用的 GOOD DIE 的 BINCODE。修正后可以达到上述 Job 指定的种类加上图表

文件的记述小于 16 个种类的 Rank 信息时，请修正 Job 后重新传送。3．步骤２中需要编

辑图表文件时，作为临时措施，通过将生产中不使用的 GOOD DIE 置换为 BAD DIE 的

BINCODE 等方法，变为可以生产。4．作为３的永久措施，请获取图表文件内使用的

BINCODE 的规格并联系本公司的代理店或售后服务人员，委托进行晶圆图表转换的追加研

发。读入图表文件时提供改进过的转换，可以自动判断指定码是否可以作为 SKIP DIE。

</remedy>

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</code>

<disp>晶圆倾斜度测定失败了。</disp>

<cause>MWU12i:为了补正晶圆的 Q 方向的倾斜度的影像处理时失败了。为了晶圆倾斜

度测定需要能影像处理的裸芯片在 X 方向连续的区域。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i:请移动到以能影像处理的裸芯片在 X 方向连续的区域的中心。在 X 方

向上没有能连续影像处理的裸芯片时，请用「手动对齐模式」修正倾斜度。</remedy>

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</code>

<disp>吸取开始位置在吸取范围之外(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：吸取开始位置超出指定范围。(补充编码子码编码表示现在吸取位置

与吸取范围的位置关系。 (图))</cause>

<remedy>MWU12i：因为在机器重新开始运转后将进行吸取开始位置指定与吸取范围指

定，所以请事先实施以下任意处理。

1. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取开始位置指定到吸取范围内。

2. 在「吸取开始位置指定画面」上将吸取范围指定为能够覆盖吸取开始位置的数值。

</remedy>

<img>NXT\EN\PickupStartPosOutsidePickupRange.gif</img>

</code>

<disp>不能参照旁边的参考裸芯片的参考裸芯片配置。</disp>

<cause>MWU12i：登录在晶圆图表上的参考裸芯片的分配不规律，所以无法参照旁边的

参考裸芯片。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：子码「1」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中最上面的参考裸

芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认与登录的参考裸芯片相同行、相同列中有参考裸芯

片。行与列中都必须有参考裸芯片。子码「2」： 1.请确认登录在 Job 中的参考裸芯片中

最上面的参考裸芯片的坐标。2.请确认晶圆图表，确认登录的参考裸芯片以及周围 8 个裸

芯片的配置与没有登录到 Job 中的参考裸芯片以及周围 8 个裸芯片的配置没有差异。裸芯

片的配置分为「参考裸芯片」、「参考裸芯片以外」和「晶圆图表外」。配置不同时请在

Job 中登录相同配置的参考裸芯片。3.变更 Job 时请重新传送 Job 并再次进行补充。详细内

容请参照参考运用手册。</remedy>

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</code>

<disp>旁边的参考裸芯片影像处理异常</disp>

<cause>MWU12i：因参照旁边的参考裸芯片时影像处理发生异常而停止。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：补充完成后从可吸取的位置上设定吸取开始点并重新开始运转。

</remedy>

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</code>

<disp>flip chip 传递确认错误(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：无法确认到 flip chip 是否已传递。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：将机器调至 ReadyOn 状态并重新开动机器之后异常有可能可以解

除。如果重新开动机器之后还是出错，则请将电源关闭后再重新打开。如果还是发生错

误，则有可能是主机与 MWU 之间出现了通信异常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系

售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>不能追踪晶圆图</disp>

<cause>MWU12i：生产时影像处理追踪中吸取开始行的下一行，发生了以下的 1～4 中

的之一的问题。

1.Good Die 与 Good Die 之间有 Good Die 以外的 Die。

2.定期影像处理为 OFF 时，不存在一个 Good Die。

3.定期影像处理为 ON 时，Good Die 或者 Bad Die 一个都不存在。

4.对于 1PP 内的需要吸取的裸芯片的总数，吸取开始行和下一行的裸芯片的总数不足。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：・生产时使用影像处理追踪功能时，请将吸取开始点设置在不满

1～4 条件的位置。

・晶圆图的裸芯片状态配置不是生产时影像处理追踪功能推荐的配置时，请将[Package

Data]-[Do FollowingVisionProcessing]变更为"No"。