Fuji errorcode.pdf - 第3622页

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8 000F7BC"> <disp> 条形码过滤文件异常 ( 晶圆供料机 )< /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：过滤文件内的提取格 …

<cause>MWU12i：过滤模式的数据种类设定了未对应的值。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模

式。</remedy>

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</code>

<disp>晶圆条形码过滤器的删除标志错误。(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：指定过滤模式的删除标志为 Y(Yes)或 N（No)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请使用手动的[Settings]-[Wafer Barcode Fileter]指令删除对象过滤模

式。</remedy>

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</code>

<disp>条形码的过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的开始记号的行。

开始记号为「<」(小于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

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</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内有不存在提取格式的结束记号的行。

结束记号为「>」(大于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

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</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件内的提取格式内存在提取区间记号重复的行。

提取区间记号「<」(小于号)、「>」(大于号)。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

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</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：过滤文件的提取格式内存在没有提取对象数据的行。

提取区间内需要有任意的元字记号类型。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

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</code>

<disp>未按 Process Times 的间隔进行影像处理。</disp>

<cause>MWU12i：由于未按 Process Times 的间隔进行影像处理，所以停止了生产。(补

充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：补完料之后，请设置吸取起点并重启生产。</remedy>

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</code>

<disp>条形码的过滤文件链接异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：检测出复数的晶圆图 ID。

子错误编码为读取的条形码的个数。(补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。

2.如果 1 块晶圆上粘贴复数条形码，则请安装过滤文件。

3.请确认过滤条件。如果过滤条件改变，则请上传过滤文件或重新上传 Job。</remedy>

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</code>

<disp>条形码过滤文件异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆图表 ID 超出了长度的上限。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>

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<disp>条形码过滤文件链接异常(晶圆供料机)</disp>

<cause>MWU12i：读取的条形码虽适用于过滤文件，但没有能满足过滤条件的条形码。

子错误编码为读取的条形码的个数。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1.请确认贴在晶圆上的条形码。粘贴个数和子错误编码不一致时，

有可能是有条形码没有被读取。请确认条形码是否脏了或是有偏移。

2.请确认过滤条件。如有变更时，在 PC 等上修改过滤文件并转送至机器。

请重新传送 JOB 之后，重新读取并进行确认。</remedy>