Fuji errorcode.pdf - 第3547页

</code> <code id="8 000F553"> <disp> 晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause /> <remedy / > <img /> </code> <code id="8 000F590…

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<disp>EZ3 轴不能避让(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：执行伺服动作时可能造成阻碍，所以不能开始伺服动作。(补充编

码)</cause>

<remedy>MWU12i：请收集出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务人员。</remedy>

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<disp>突起头(Pot)吸取用真空破坏开始延迟异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>突起头(Pot)吸取用真空破坏结束延迟异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>晶圆剥离挡板打开异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>晶圆剥离挡板关闭异常（晶圆供应装置）</disp>

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<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：顶起单元里填装了不明的顶起筒。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请从顶起单元中除去顶起筒。

请将除去的顶起筒返还到子错误编码的插口号码中。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：顶起单元和顶起筒更换器的排出口存放格里都没有顶起筒。( 补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，

请将其取出。

请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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<disp>顶起筒整理性确认异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：在顶起筒更换器中没有要更换的顶起筒。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：在机器内顶起筒有下落的可能。若在顶起单元部及附近有顶起筒，

请将其取出。

请将顶起筒设置在子错误编码所显示的存放格号码后，重新使机器开始运转。

子错误编码是「0」时，请在取出的状态下重新开始运转。</remedy>

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<disp>Pot 切换失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 切换失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请在确认 Pot、Pot 更换器、突起单元的状态后，重新开始生

产。

２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot 更换器的确认。

</remedy>

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<disp>Pot 切换中落下（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：Pot 切换失败了。存在 Pot 落下的可能性。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 Pot 是否掉落在机器内。

掉落时，请将 Pot 设置在 Pot 更换器后，重新开始生产。

２．步骤１也不能恢复异常时，请维修保养人员进行突起单元、Pot、Pot 更换器的确认。

</remedy>

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