Fuji errorcode.pdf - 第3552页

x0001000 ：销参差不齐异常例 ) 子错误编码： 20 000011 Socket2 号的 Pot 检测出 Pot 面高度异常， Pot 面倾斜度异常 )</cause> <remedy >MWU12i ：请确认 pot 是否安装正确。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 000F59D"> …

3.重新搭载也无法解除错误时，可能是传感器等器件发生故障。请以 MWU 的 IO 确认「顶

起筒 1～6 无确认」(NX052～NX057)以及「顶起筒有无确认」（NX05B）的反映。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>顶起筒更换器位置异常(晶圆供应设备)</disp>

<cause>MWU12i：顶起筒更换器放置在与顶起单元以及晶圆台发生干扰的位置。( 补充

编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请操作紧急停止按钮停止运行并将顶起单元移动到设备左侧。

使用 EquipmentCheck 降低顶起筒更换器，然后将其后退。

请将各 Pin 号码按照以下状态进行操作。

降低 NY042 顶起筒更换器上升 OFF

NY043 顶起筒更换器降低 ON

后退 NY044 顶起筒更换器前进 OFF

NY045 顶起筒更换器后退 ON</remedy>

<img />

</code>

<disp>Pot 顶起高度测定异常(晶圆喂料机)</disp>

<cause>MWU12i：Pot 顶起高度测定值超出规定范围。( 补充编码子码代表出错原因。

x 表示 Socket 编号。

x0000001：Pot 面高度异常

x0000010：Pot 面倾斜度异常

x0000100：销高度异常

x0001000：销参差不齐异常

例)

子错误编码：20000011

Socket2 号的 Pot 检测出 Pot 面高度异常，Pot 面倾斜度异常 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认 pot 是否安装正确。</remedy>

<img />

</code>

<disp>Pot 整合性确认异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为 Pot 置放台上安装了不明 Pot，所以不能进行 Pot 的排出。( 补充

编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请从子错误编码号码的 Socket 中除去 Pot。</remedy>

<img />

</code>

<disp>顶起筒的套筒松动</disp>

<cause>MWU12i：安装顶起筒后，检测出顶起筒的套筒松动。(补充编码子码表示收存

格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：请检查顶起筒的套筒是否松动。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPot_Cap.GIF </img>

</code>

<disp>顶起筒安装失败</disp>

<cause>MWU12i：安装顶起筒后，检测出顶起筒倾斜。

・上顶起筒夹或下顶起筒夹上可能有划痕或异物。

・与下顶起筒夹的接触面上可能有划痕或异物。

・顶起筒的套筒松动时也有可能发生此报错。(补充编码子码表示收存格号码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请清扫上顶起筒夹与下顶起筒夹。

・请更换顶起筒。

・请检查顶起筒的套筒是否松动。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPot_Tilt.GIF </img>

</code>

<disp>顶针高度异常</disp>

<cause>MWU12i：测量顶针高度时检测出顶针高度异常。

・有可能是顶针安装高度偏掉。

・有可能是顶针磨损。

・有可能是顶针影像处理时误检出异物，导致顶针的位置偏掉。

・有可能是上顶起筒夹或顶起筒接触面有刮痕、异物。(补充编码子码表示收存格号

码。 )</cause>

<remedy>MWU12i：・请重新调整顶针的高度。

・顶针前端磨损时，需要更换顶针。

・请清扫顶起筒的上面。

・请更换顶起筒的套筒。

・请清扫下顶起筒夹或顶起筒接触面。</remedy>

<img>NXT\EN\PushUpPin_Height.GIF </img>

</code>

<disp>顶针的高度未对齐</disp>