Fuji errorcode.pdf - 第3625页

</code> <code id="8 000F7CB"> <disp> 吸取的晶圆图的切换失败了 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：在切换料槽或者用 multi block 的切换 block 时，吸取的晶圆图的切换失败了。使机器异常停止重新启动后恢复。 ( 补充编码…

<img />

</code>

<disp>multi block ID 读取异常</disp>

<cause>MWU12i：multi block 的二维码读取失败(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：通过辅助软件获取影像，确认二维码的读取位置、读取区域尺寸、

亮度等是否正常。请确认二维码是否存在剥落现象或粘有污垢。请打开 JOB，从[Package

Data]-[Pickup block ID:]修正读取条件后重新传送。</remedy>

<img />

</code>

<disp>multi block ID 读取异常</disp>

<cause>MWU12i：二维码长度超出规定范围(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请减少粘贴在 multi block 上的二维码的字数。

字数最多不能超过 30。</remedy>

<img />

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<disp>因 multi block 切换而停止</disp>

<cause>MWU12i：由于 multi block 生产时用于吸取的 block 切换了，所以为了让作业员

确认而停机。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请根据补给指示调整吸取位置。补给完之后，重新开始生产。

如果相对于元件尺寸来说补给时的对完位后的偏位程度很小(大致基准是含 Reference 的补

正时不超过元件尺寸的 20%)，则可以设置为“在生产过程中操作员不确认”。关于详细内

容，请参考「multi block 生产运用手册」。</remedy>

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<disp>吸取的晶圆图的切换失败了</disp>

<cause>MWU12i：在切换料槽或者用 multi block 的切换 block 时，吸取的晶圆图的切换

失败了。使机器异常停止重新启动后恢复。(补充编码)</cause>

<remedy>请用 MWU12i:1.[Ready]按键解除异常，按下[Start]按键重新开始生产。2.如果

频繁发生异常时，对不起麻烦您获取发生错误时的跟踪数据，与敝公司 Support 联系。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果表明晶圆图发生偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误吸取状况来锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定吸取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果发现晶圆上的裸芯片发生突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>

<img />

</code>

<disp>测出晶圆图偏移</disp>

<cause>MWU12i：检查结果表明有可能发生晶圆图偏移或突发性偏移。

检查结果：Failed( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请参考有关晶圆图对比工具的运用手册，然后利用晶圆图对比工具

进行详细确认。

请通过清点对象范围内的不良点、参照点、跳过点、失效点的误拾取状况而锁定「影响范

围」。

请获取报错时的追溯数据以及晶圆的生产日志，包括原始晶圆图、拍摄位置出错的晶圆影

像一并提供给本公司的售后服务。

重新生产相同晶圆时，请利用晶圆更换指令将晶圆取出后再插入，然后从指定拾取坐标的

步骤开始重新操作。</remedy>