Fuji errorcode.pdf - 第2104页
<disp> 现在 不使用此错 误编码 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>[ MWU 固件用 数据检查 ] 现在不使用 此错误编码 。 ( 补充编码 ) < /cause> <remedy > 通常不发生此 错误。此错误被 显示时， 对不起麻烦您获 取错误发 生时的跟踪数 据，与弊公司 Support 联系。 </r…
<code id="80008B7D">
<disp>顶起速度切换高度设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-
SpeedChangeHeight 的数据值超出了 ShapeData-ShapeProcess-Die-PressurePin-PushUpHeight
的数据值。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请按照 PushUpHeight ≧ SpeedChangeHeight 这一关系，设定数据值。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7E">
<disp>晶圆尺寸指定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 在元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸的指定中存在问
题。有可能是以下中的一个。
1．被指定了现在使用的 MWU 的类型所不能够生产的尺寸的晶圆托架或晶圆尺寸。
2．晶圆尺寸大于晶圆托架尺寸。晶圆尺寸必须小于或等于晶圆托架尺寸。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请分别确认现在使用的 MWU 的类型、元件数据的晶圆托架尺寸和晶圆尺寸。
MWU 的类型
Machine Configuration - Stage Type
晶圆托架的尺寸
Package Data - Package Information - Pallet Type
晶圆的尺寸
Shape Data - Shape Process - Die - Wafer Size</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B7F">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B80">
<disp>现在不使用此错误编码</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 现在不使用此错误编码。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B81">
<disp>晶片供应方法设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 超出 12.00mm 的（晶片尺寸＞12.00mm）晶片不能直
接供应。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-UseShuttle 的设定变成 Yes 或 Auto。
(Yes:1,Auto:2)</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B82">
<disp>分割影像处理设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 15.00mm 以下（晶片尺寸≦15.00mm）晶片不能进行分
割影像取入。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Vision-ImagePartialFlg 的设定变成 No(0)。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B83">
<disp>晶片翻转供应方法设定异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 超出 18.00mm 的（晶片尺寸＞18.00mm）晶片不能进
行翻转供应。
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>请将 ShapeData-ShapeProcess-Die-Generic-DoFlip 的设定变成 No(0)。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B84">
<disp>元件外形数据值异常</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>[ MWU 固件用数据检查 ] 分割影像撮影位置 OffsetX 在有效范围外。RANGE: -
25.40～25.40 [mm]
( 补充编码 ) </cause>
<remedy>通常不发生此错误。此错误被显示时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数
据，与弊公司 Support 联系。</remedy>
<img />
</code>
<code id="80008B85">
<disp>元件外形数据值异常</disp>