Fuji errorcode.pdf - 第3605页

1: 在测定中想要用不合适的 Job 测定 ( 补充编码 )</ cause> <remedy >MWU12i: 子码是 0 的时候，请传送测定专用 Job 开始自动运转。请确认自动校正值结束在周期循环停止后重新实施治具测定。子码是 1 的时候，请传送测定专用 Job ，进行上述的运转处理之后进行测定。测定专用 Job 的规定：不能使用 1 ～ 4 料槽、最下段料槽测定。或者请用 1 个…

<remedy>MWU12i：１．当正在实行版本升级时，请关闭重复的版本升级操作。２．发

生其他错误时，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>版本升级时 SRAM 的数据初始化异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：在 MWU 的版本更新时，数据的初始化失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请先重新打开电源然后再实行。２．如果通过步骤１仍然无法

消除该异常，请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。

</remedy>

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</code>

<disp>晶圆供应设备的伺服版本升级异常</disp>

<cause>MWU12i：MWU 的版本升级时，伺服的版本升级失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：1．请重新接通电源。

2.如果通过步骤 1 仍然无法消除该异常，请收集出错时的跟踪数据并联系本公司的代理点

或售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>用治具量规测定顶起量异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：用治具量规测定顶起量失败了。

子码表示错误的原因。

0:校正未结束

1:在测定中想要用不合适的 Job 测定( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i:子码是 0 的时候，请传送测定专用 Job 开始自动运转。请确认自动校

正值结束在周期循环停止后重新实施治具测定。

子码是 1 的时候，请传送测定专用 Job，进行上述的运转处理之后进行测定。

测定专用 Job 的规定：不能使用 1～4 料槽、最下段料槽测定。或者请用 1 个 Job 只在 1

个料槽上安装治具。</remedy>

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</code>

<disp>校正未结束（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：因为校正未结束，所以机器不能动作。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请开始自动运转。显示补料画面，请确认自动校正是否结束。此

后，请在周期停止后重新实行校正。</remedy>

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<disp>由于连接调整工具，所以不能运转机器。</disp>

<cause>NXT-H：由于需通过重启机器更新内容，所以不能继续运转机器。</cause>

<remedy>请关闭机器电源进行重启。</remedy>

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</code>

<disp>可以贴装到子板上的元件不足</disp>

<cause>NXT-H：由于出现元件错误，所以与贴装到子板上的元件同等级的元件出现了不

足。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT-H：1)请补充晶圆(晶圆上的元件必须与贴装到子板上的元件同等级)。

2)如果没有可以用来补料的元件，则请将处于生产途中的电路板从机器内取出。

下一块电路板用其他等级的元件重新开始生产。</remedy>

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<disp>晶圆图表转换异常（晶圆供应设备）</disp>

<cause>MWU12i：利用转换工具转换晶圆图表失败了。( 补充号码子码：转换工具的错

误编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请出力子码的异常。无法解决该问题时请获取出错时的跟踪数据并

联系本公司的代理店或售后服务人员。</remedy>

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<disp>自动晶片宽度计算异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：晶片宽度的计算失败了。请确认子码的内容。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：子码 0x00000001：无法检测出晶圆边线请确认明暗判定的阈值。

0x00000002：未设置行列数。0x00000003：无法正确计算出晶圆元件的尺寸。

</remedy>

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<disp>晶片宽度设置值异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：无法在 Job 上设置晶片宽度。( 补充编码 )</cause>