Fuji errorcode.pdf - 第2170页

<code id="8 0008F06"> <disp> 动作完成超时 </disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause> 晶圆供应单元的动作没有完成。 ( 补充编码 )</ cause> <remedy > １ . 在晶圆供应单元中有可能发生了错误。如果存在晶圆供应单元发出的错误编码…

<disp>料盘箱料槽异物检出</disp>

<cause>检测出晶圆供应单元的料盘箱料槽上存在异物。( 补充编码在子错误编码中表示

对象料槽的位置。 )</cause>

<remedy>１．请除去异物。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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</code>

<disp>下层占有异常检出</disp>

<cause>在子错误编码中表示的料槽被别的料槽的料盘占有了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请减少别的料槽的料盘。

２．请重新编辑 Job，使得不发生占有异常。

３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单元。</remedy>

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<disp>I/O 输入输出失败</disp>

<cause>晶圆供应单元的 I/O 操作失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。

２．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单。</remedy>

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</code>

<disp>动作完成超时</disp>

<cause>晶圆供应单元的动作没有完成。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１.在晶圆供应单元中有可能发生了错误。如果存在晶圆供应单元发出的错误

编码，请确认内容。

２. 在晶圆供应单元中没有显示任何错误时，请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重

新安装。

３．通过上述对策没有改善时，晶圆供应单元有可能发生了故障。请修理・维修保养或者

更换单。</remedy>

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<disp>内部处理异常</disp>

<cause>系统内发生了处理异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>１．请使用手动指令卸下晶圆供应单元，然后重新安装。

２．请关闭机器的总电源开关，然后重新启动。

３．重新启动也没有解决时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司

Support 联系。</remedy>

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</code>

<disp>在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱</disp>

<cause>在晶圆供应单元中没有被设置废弃箱。( 补充编码 )</cause>

<remedy>由于灰尘或废弃元件等影响，废弃箱有可能没有被正确地设置，

请清扫后重新设置废弃箱。

不能恢复时，有可能传感器故障，请进行维修保养。</remedy>

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<disp>在晶圆供应单元的往复平台上晶片元件没有被安装</disp>

<cause>虽然要求在晶圆供应单元的往复平台上安装晶片元件，但是，由于晶圆供应单元

侧发生了错误，因此晶圆供应单元无法安装晶片元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请按下 Ready ON 按钮，确认其他发生的错误，然后进行处置。</remedy>

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<disp>退避位置不定</disp>

<cause>[ 晶圆供应单元 ] 使用 RFID 时，料盘箱不能退避到标记 ID 读取位置。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请通过 Ready ON 解除异常，然后重新开始运转。

２．通过１的方法不能解除异常时，请关闭机器的总电源开关重新启动。</remedy>

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<disp>搭载 RFID 单元通信异常</disp>

<cause>[ 晶圆供应单元 ] 晶圆供应单元上被连接了 RFID 单元，但是不能进行通信。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请通过 Ready ON 解除异常，重新安装晶圆供应单元。

２．通过上述对策没有被改善时，有可能 RFID 单元或晶圆供应单元发生了故障。

请修理·维修保养或者更换单元。</remedy>

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