Fuji errorcode.pdf - 第3586页

<remedy >MWU12i ：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司的售后服务人员。 < /remedy> <img /> </code> <code id="8 000F746"> <disp> 星型网络送信失败（晶圆供料机） </disp> <mc>NXT,AI M</m…

<cause>MWU12i：星型网络的连接失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>星型网络接收失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：使用星型网络接收数据失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>星型网络通信切断失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：星型网络的通信切断失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

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</code>

<disp>不明指令接收（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收了不明的指令。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>星型网络送信失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：星型网络上的数据送信失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：１．请确认 MWU 与主机器之间的通信电缆是否没有问题。２．请

重新接通机器的电源。

</remedy>

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</code>

<disp>接收数据文件大小不正确（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收的数据文件大小不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

<img />

</code>

<disp>接收数据不正确（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收的数据内容不正确。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>接收应答失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：接收回复的应答失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>送信应答失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：送信的应答结果发生异常。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：创建送信数据失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：一般不会发生该错误。请收集发生错误时的跟踪数据并联系本公司

的售后服务人员。</remedy>

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</code>

<disp>应答数据受信失败（晶圆供料机）</disp>

<cause>MWU12i：应答数据的接收失败了。( 补充编码 )</cause>