Fuji errorcode.pdf - 第3570页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：不明的晶圆或料盘被拉出。 ( 补充编码 )</cause > <remedy >MWU12i ：不明的晶圆或料盘被拉出。【对策】（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污垢时请清扫料台的导轨 …

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<disp>无吸取对象元件的异常報告（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸取对象元件没有被取出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>存放检测传感器异常(晶圆供应装置)</disp>

<cause>MWU12i：元件超出了料盘箱或料盘箱超出了晶圆输送平台。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请确认元件是否超出后到达了料盘箱和晶圆输送平台之间的位置。

如果超出，则请采取下列措施。1)如果元件超出了料盘箱，则请先打开 MWU12i 的料盘箱

门，然后再将料盘箱内的晶圆全部向前拉出。2)如果元件到了料盘箱和晶圆输送平台之间

的位置，则请先打开 MWU12i 的料盘箱门，然后再将晶圆输送平台上的晶圆向前拉出。如

果拉出晶圆时会出错，则请一边将晶圆前面稍微向下按一些，一边拉动晶圆。3)请按下开

始按钮或通过 EquipmentCheck 关闭晶圆 stopper。4)请重新打开料盘箱门，然后再重新放

好晶圆，使晶圆碰到晶圆 stopper。

</remedy>

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<disp>料台上检测到不明晶圆或料盘（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：不明的晶圆或料盘被拉出。

【对策】

（１）料台上有晶圆或料盘时请取出对象物后重开运转。

（２）料台上无晶圆或料盘时请确认料台上导轨部和定位部有无掉落的元件等。如果有污

垢时请清扫料台的导轨部。

即使料台上无晶圆或料盘时也需要对发生错误的位置进行传感器的调整。</remedy>

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<disp>没有指定存放元件（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有指定存放的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆台位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆台不在校正测定位置（模组）。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>晶圆・料盘取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：晶圆或者料盘的取出失败了。

晶圆或者料盘残留在料盘箱和晶圆台之间。( 补充编码因为晶圆台的晶圆达到确认

(NX035)=ON(有对象物)、托架存放确认(NX01B)=OFF

(有对象物)，所以发生此错误。 )</cause>

<remedy>MWU12i：请打开主机正面门，确认晶圆・料盘的位置。

请将晶圆台内的晶圆・料盘返回到料盘箱内。

（晶圆・料盘不在晶圆台内时，则可能在料盘箱内飞出。）</remedy>

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<disp>元件取出异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：没有被取出的元件。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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<disp>存放准备位置异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：PY 轴、TY 轴不在存放准备位置。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：通常不发生此错误。请获取发生错误时的跟踪数据并联系本公司的

售后服务人员。</remedy>

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