Fuji errorcode.pdf - 第3519页
<code id="8 000F4C0"> <disp> 处理 轨道定位点 控制系统 异常（晶圆供 料机） < /disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：处理 轨道定位点失败 了。导致 异常的原因可能 是下述情 况。 ・ 读取影 像失败 ・ 处理影像失 败 ・ 获取影 像结果失败 ・ 显示影像处理结 果失败…
<disp>顶起销影像处理 数据异异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4BE">
<disp>顶起筒定位点处理 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：顶起筒定位点处理失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・读取
影像失败 ・处理影像失败 ・获取影像处理结果失败 ・获取顶起筒定位点坐标失败 ・处理
结果显示失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认顶起筒定位点是否清洁或者 Job 数据的 Machine Configuration
的 Collet Setup 中所登录的顶起筒数据与顶起筒是否一致。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4BF">
<disp>顶起筒定位点处理 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：顶起筒定位点登录失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4C0">
<disp>处理轨道定位点 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：处理轨道定位点失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・读取影
像失败 ・处理影像失败 ・获取影像结果失败 ・显示影像处理结果失败 关于具体内容请参
考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4C1">
<disp>处理轨道定位点 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：登录轨道定位点失败了。( 补充编码 )</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。
</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4C2">
<disp>相机原始影像显示处理 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4C3">
<disp>相机原始影像的显示处理 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：当前不使用该错误编码( 补充编码)</cause>
<remedy />
<img />
</code>
<code id="8000F4C4">
<disp>处理参考晶片 控制系统异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：处理参考晶片失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・读取影像
失败・处理影像失败 ・获取影像处理结果失败・显示影像处理结果失败 关于具体内容请
参考子码。( 补充编码 )
</cause>
<remedy>MWU12i：请确认子码的内容。</remedy>
<img />
</code>
<code id="8000F4C5">
<disp>参考晶片处理 数据异常（晶圆供料机）</disp>
<mc>NXT,AIM</mc>
<cause>MWU12i：登录参考晶片数据失败了。导致异常的原因可能是下述情况。・登录
失败 ・取消登录失败 关于具体内容请参考子码。( 补充编码 )