Fuji errorcode.pdf - 第3537页

<disp>EY 轴错误 ( 晶圆供料装置 )</disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：伺服系统出错。 ( 补充编码的子码发生伺服错误信息 0019 ：超负荷 ( 瞬间最大负荷 ) 0022 ：译码器数据报警 )</cause> <remedy >MWU12i ： (1) ：请确认伺服错误编码。 (…

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<disp>未实施 EY 轴的错误复位（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EY 轴在错误复位之前，实行了 Dam 系列的指令

( 补充编码 )</cause>

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<disp>EY 轴动作一致等待超时（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EY 轴的伺服动作的一致等待超时了

( 补充编码 )</cause>

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<disp>未实装数据变数（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EY 轴在参照数据并实行动作 Dam 系列的指令时，不能参照数据

( 补充编码 )</cause>

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<disp>EY 轴错误(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

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<disp>Dam 不能排放（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：不能进行与 EY 轴相关的 Dam 排放

( 补充编码 )</cause>

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<disp>增益切换失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EY 轴的增益切换失败了

( 补充编码 )</cause>

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<disp>存在干涉的危险（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EY 轴存在干涉的危险

( 补充编码 )</cause>

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<disp>EY 轴伺服行程异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：现在未使用此错误编码

( 补充编码 )</cause>

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<disp>EZ1 轴的伺服不在初期状态（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EZ1 轴没有进行伺服 Wake。

( 补充编码 )</cause>

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<disp>未实施 EZ1 轴的错误复位（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：EZ1 轴在错误复位之前，实行了 Dam 系列的指令

( 补充编码 )</cause>