Fuji errorcode.pdf - 第571页

<code id="8 0003923"> <disp> 加热器温度异常警告 </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT ：加热器的温度不在正常范围内。可能是加热器未通电，或加热器已到使用寿命。 ( 补充编码 ) </cause> <remedy >NXT ：参考手册也无法…

<cause>NXT-H：如果 MWU12i 内未搭载料盘箱或搭载的料盘箱尺寸与料盘箱料站数跟

Job 不符合，则不能开始生产( 补充编码子错误编码：应该安装的晶圆尺寸 0x0001：6 英

寸

0x0002：8 英寸

0x0003：12 英寸 )</cause>

<remedy>NXT-H：请安装与 Job 一致的料盘箱

料箱尺寸：请确认 Job 内元件的 Shape Data-Shape Process-Die-Wafer Size 尺寸。

料箱槽：请在 Configuration-Feeder Setup-Feeder Setup 上确认搭载元件的料槽。在使用 13

料槽型料箱时，如果 Job 指定了第 14 以后的料槽也会发生该错误。

补充编码显示合适的晶圆尺寸。</remedy>

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</code>

<disp>DX Protector 功能工作</disp>

<cause>通过 DX Protector 的保护动作，停止了轴动作。( 补充编码 )</cause>

<remedy>请确认机器内部。</remedy>

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</code>

<disp>供料器间距离异常检测</disp>

<cause>运转中检测出供料器间的距离有空隙。(补充编码)</cause>

<remedy>请确认供料器间距离是否满足下记条件。不满足下记条件时，请变更供料器配

置。[公差值] 20mm 以下</remedy>

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</code>

<disp>加热器温度异常警告</disp>

<cause>NXT：加热器的温度不在正常范围内。可能是加热器未通电，或加热器已到使用

寿命。(补充编码)

</cause>

<remedy>NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向 FUJI 咨询。</remedy>

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</code>

<disp>加热器断线</disp>

<cause>NXT：加热器断线。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT：参考手册也无法解决该问题时，请向 FUJI 咨询。</remedy>

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</code>

<cause>NXT：在基座的 CPU 电路板检测出 PCI 连接异常。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT：请重启机器。

如果经常发生，请更换 CPUBOX。</remedy>

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</code>

<cause>NXT：在模组的 CPU 电路板检测出 PCI 连接异常。(补充编码)</cause>

<remedy>NXT：请重启机器。

如果经常发生，请更换 CPUBOX。</remedy>

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</code>

<disp>顶部冷却扇停止</disp>

<cause>顶部冷却扇的旋转次数下降或不转(补充编码)</cause>

<remedy>请观察或用手触碰，找到出问题的位置，然后更换顶部冷却扇。</remedy>

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</code>

<disp>内部处理异常</disp>

<cause>[ 伺服放大器异常 ] 系统内发生了处理异常。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，连同错误发生时的操作步骤一起与

弊公司 Support 联系。为了重新开始运转，请重新接通总电源开关。</remedy>

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</code>

<disp>测出正方向越位</disp>

<cause>测出了正方向的越位。

可以通过补充编码找到出错的轴。( 补充编码【NXT】

0x0：Y 轴

0x1：X 轴