Fuji errorcode.pdf - 第2363页

( 补充编码 ) < /cause> <remedy > 该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊公司 Support 联系。 </remedy> <img /> </code> <code id="8 0009265"> <disp> 料盘托架识别标记读取异常 </disp…

<img />

</code>

<disp>晶圆供料托架 2D 代码异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 读取的晶圆供料托架的 2D 代码格式不正确。

( 补充编码子码

０：晶圆尺寸取得失败

１：扩张环内径取得失败 ) </cause>

<remedy>请确认晶圆供料托架的 2D 代码，请更换成正确的刻印的晶圆供料托架。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆晶片间距检出异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 不能检出晶圆上的晶片和晶片的分割间距。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请确认是否是能够生产的晶圆。

２．晶圆上的中心或者距离晶圆中心的１／３的位置、１／２的位置的上下左右的任意一

个位置上如果不存在某些晶片，

就不能检出分割间距。请更换成能够生产的晶圆。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪

数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>料盘托架识别标记读取异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 料盘托架识别标记读取失败。

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>１．请确认料盘托架是否被安装了。

２．请确认料盘托架识别标记是否脏了，请擦去污垢。

３．通过１，２的方法不能解除异常时，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪数据，与弊

公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪

数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪

数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪

数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>现在不使用此错误编码</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 现在不使用此错误编码

( 补充编码 ) </cause>

<remedy>该错误通常不会发生。如果显示该错误，对不起麻烦您获取错误发生时的跟踪

数据，与弊公司 Support 联系。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆元件补充异常</disp>

<cause>[ MWU 固件(3) ] 不能够完成晶圆元件的补充。

( 补充编码子码表示料槽号码。 ) </cause>