Fuji errorcode.pdf - 第3531页

<mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：料盘接合片定位点的影像处理失败了。 ( 补充编码 )</ca use> <remedy >MWU12i ：请确认错误影像。因为污垢等影响不能进行识别时，请进行清扫。影像处理错误的详细内容，请确认子编码内容。 </remed y> <img /> </cod…

<disp>晶圆喂料机的 alignment mark 影像处理异常</disp>

<cause>MWU12i：对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）进

行影像处理时出现失败。异常可能是由以下原因所造成的。・mark 受污染。・mark 出现

变形。・影像太亮或太暗。・mark 超出扫描区域。( 补充编码 )

</cause>

<remedy>MWU12i：请对 wafer table 的轨道二维码前面的基准定位点（alignment mark）

进行查看。如果受到污染，则请进行清扫。・如果影像太亮或太暗，则需要对光源进行调

节。因此，请联系售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>alignment mark 登录异常</disp>

<cause>MWU12i：alignment mark 登录失败。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认子错误编码。・请重启电源。如果还是发生错误，则有可能

是 MWU 的相机出现了通信异常。请收集发生报错时的跟踪数据并联系售后服务人员。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>料盘接合片定位点识别错误</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的影像处理失败了。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等影响不能进行识别时，请进行清

扫。影像处理错误的详细内容，请确认子编码内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>料盘接合片定位点影像处理数据异常</disp>

<cause>MWU12i：料盘接合片定位点的识别数据的登录失败了。 ( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请重新启动机器进行修正处理。错误的详细内容，请确认子编码内

容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆转接器定位点影像处理异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆转接器定位点影像处理失败了。

关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认错误影像。因为污垢等的影响没能识别时请清扫。

关于错误的详细内容，请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>晶圆转接器定位点的数据登录异常(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：晶圆转接器定位点登录处理失败了。可认为是以下原因。

・数据初始化失败

・数据消去失败

关于详细内容，请参考子码。( 补充编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请再启机器后重新处理。

关于错误的详细内容，请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>元件旋转方向偏移量异常</disp>

<cause>MWU12i：利用晶圆相机测定的元件旋转方向偏移量超过公差值。(补充编

码 )</cause>

<remedy>MWU12i：晶圆整体倾斜时，为了使元件的倾斜度不超出公差范围，请调整补

充晶圆的角度。

只有对象裸芯片倾斜时，为了从倾斜度较小的裸芯片开始拾取，请重新设置拾取开始点。

</remedy>

<img />

</code>

<disp>热补正定位点影像处理发生异常（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：热补正定位点的影像处理失败。关于详细内容，请参考子码。( 补充

编码 )</cause>

<remedy>MWU12i：请确认错误影像。请在因污垢的影像无法识别影像时进行清扫。关

于影像处理错误的详细情况请确认子码的内容。</remedy>

<img />

</code>

<disp>热补正定位点数据登录异常（晶圆供应装置）</disp>