Fuji errorcode.pdf - 第4045页

</remedy> <img /> </code> <code id="8 9370000"> <disp>Holder 跳过设置时通信异常（晶圆喂料机） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>N XT-H ：因为与晶圆喂料机的通信失败，所以 Holder 跳过的设置无法正常…

<cause>NXT：因上位主机异常而停机。

(补充编码来自主机的错误信息 ) ( 补充编码来自主机的错误编码 )</cause>

<remedy>NXT：请根据补充编码解除主机的异常。</remedy>

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<disp>切换生产模式时电路板记忆清除</disp>

<cause>NXTR：切换生产模式时，清除了电路板记忆(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请取出模组内的电路板。</remedy>

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<disp>生产模式切换失败</disp>

<cause>NXTR：生产模式切换失败了( 补充编码 )</cause>

<remedy>NXTR：（１）请重新变更生产模式。（２）步骤（１）也不能改变时，请重新

启动机器后实施切换模式操作。

</remedy>

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<disp>智能加载车避让位置指定异常</disp>

<cause>NXTR：指定为智能加载车避让位置的机器在生产线内不存在。(补充编

码)</cause>

<remedy>NXTR：请确认是否指定了生产线内实际存在的模组/缓存站。特别是指定为缓

存站时，必须正确地指定编号以及料站平台编号。例如要移动到生产线内的最左边的缓存

站时，请指定缓存站号码 1、料站号码 1。

</remedy>

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</code>

<disp>Holder 跳过设置时通信异常（晶圆喂料机）</disp>

<cause>NXT-H：因为与晶圆喂料机的通信失败，所以 Holder 跳过的设置无法正常完成。

(补充编码)</cause>

<remedy>NXT-H：请拆下晶圆喂料机后重新安装。或者请重启机器。然后再重新设置

Holder 跳过。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：不能对智能加载车进行手动指令操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请按下智能加载车的开始键。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于按下了智能加载车的紧急停止键，所以不能进行手动指令的操作。

(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请解除智能加载车的紧急停止键。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车移动范围的设置和模组位置的测定，所以无法进

行手动指令的操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车的移动范围并测定模组位置。然后重新进行手动指令

的操作。</remedy>

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<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车移动范围的设置，所以不能进行手动指令的操

作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车的移动范围。然后重新进行手动指令的操作。

</remedy>

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</code>

<disp>不能进行手动指令的操作</disp>

<cause>NXTR：由于未完成智能加载车标准位置一侧的移动范围的设置，所以无法进行

手动指令的操作。(补充编码)</cause>

<remedy>NXTR：请设置智能加载车标准位置一侧的移动范围然后重新进行手动指令的操

作。</remedy>

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</code>