Fuji errorcode.pdf - 第3487页

<code id="8 000F40A"> <disp> 吸嘴头２的吸嘴安装失败（晶圆供应装置） </disp> <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ：吸嘴头２的吸嘴安装失败了。 ( 补充编码的子码显示为对象收存格号码。 )</cause> <remedy >MWU12i …

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<disp>吸嘴头３吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头３的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头４吸嘴排出失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头４的吸嘴排出失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请拆卸对象吸嘴头的吸嘴并返回到对象的收存格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头１的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

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<disp>吸嘴头２的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

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<disp>吸嘴头３吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头３的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

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<disp>吸嘴头４的吸嘴安装失败（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头４的吸嘴安装失败了。( 补充编码的子码显示为对象收存格号

码。)</cause>

<remedy>MWU12i：・请确认对象吸嘴头上是否安装了吸嘴。如果吸嘴头上安装了吸

嘴，请拆卸该吸嘴放入对应的收存格中。・请确认对象收存格内的吸嘴的放置位置是否正

确。

</remedy>

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<disp>吸嘴头１的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头１的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头２的吸嘴脱落（晶圆供应装置）</disp>

<cause>MWU12i：吸嘴头２的吸嘴有可能脱落。( 补充编码的子码显示为安装处的存放

格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头３的吸嘴脱落（供应晶圆机器）</disp>

<cause>MWU12i：有可能是吸嘴头３的吸嘴滑落。( 补充编码的子码显示为安装处的存

放格号码。)</cause>

<remedy>MWU12i：请将脱落的吸嘴放回安装处的存放格中。</remedy>

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<disp>吸嘴头 4 的吸嘴脱落（晶圆供料机）</disp>