Fuji errorcode.pdf - 第3468页

</remedy> <img /> </code> <code id="8 000F301"> <disp>PX 轴的伺服器不是初期状态 ( 晶圆供料装置 )</disp > <mc>NXT,AI M</mc> <cause>M WU12i ： PX 轴伺服器没有 Wake 。 ( 补充编码 )</c…

<cause>MWU12i：从料盘箱内拉出的托架不能自动回收到料盘箱内(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：请按照步骤提示手动将托架从晶圆台上取出。

取出时，请打开料盘箱的安全门将托架向料盘箱的方向拉回。

请重新开启运转并根据补充提示将取出的晶圆放回原先的料槽内。

请继续运转机器。</remedy>

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<disp>晶圆 stopper 动作异常</disp>

<cause>MWU12i：晶圆 stopper 既不在前进端也不在后退端。(补充编码)</cause>

<remedy>MWU12i：晶圆 stopper 既不在前进端也不在后退端。1) 如果晶圆被拉出到了

输送平台上，则请先按下紧急停止按钮并打开正面门，然后再取出晶圆。2) 请确认气压是

否正常。3)请使用 EquipmentCheck 并通过下列 I/O 使晶圆 stopper 前进或后退并确认动作

是否正常。前进时输出 NY014：晶圆 stopper 前进=ON 输出 NY016：晶圆 stopper 后退

=OFF 输入 NX00A：晶圆 stopper 前进端=ON 后退时输出 NY016：晶圆 stopper 后退=ON 输

出 NY014：晶圆 stopper 前进=OFF 输入 NX00B：晶圆 stopper 后退=ON 如果气缸驱动部位

有异物，可能会发生卡死现象。4)如果采取 1、2 这两种措施后异常还是无法消除，则有

可能是传感器有异常或气缸发生了故障。请根据情况进行调整或更换。

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<disp>PX 轴的伺服器不是初期状态(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：PX 轴伺服器没有 Wake。(补充编码)</cause>

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<disp>PX 轴的错误复位未实施(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：在 PX 轴错误复位之前实行了 Dam 系列的指令 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>等待 PX 轴动作一致超时(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：等待 PX 轴的伺服器动作的一致时超时了 ( 补充编码 )</cause>

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<disp>数据变量未贴装(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：PX 轴参照数据实行动作的 Dam 系列的指令时，不能参照数据( 补充编

码 )</cause>

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<disp>PX 轴错误(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：伺服系统出错。(补充编码的子码发生伺服错误信息 0019：超负荷(瞬

间最大负荷) 0022：译码器数据报警)</cause>

<remedy>MWU12i：(1)：请确认伺服错误编码。(2)：请按照伺服错误编码进行对应。

【伺服错误编码为 19(超负荷(瞬间最大负荷))时】请确认移动轴时是否被卡住。【伺服错

误编码为 22(译码器数据警报)时】请切断电源，确认译码器和放大器的电线连接。请确认

连接后重启机器并确认动作。(3)：如果执行上述 1、2 之后仍然不能消除异常，则请收集

出错时的追溯数据并联系本公司的售后服务。</remedy>

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<disp>不能发表 Dam(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：PX 轴不能发表 Dam ( 补充编码 )</cause>

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<disp>增益切换失败(晶圆供料装置)</disp>

<cause>MWU12i：PX 轴的增益切换失败了 ( 补充编码 )</cause>